大気および真空ロボットのリファービッシュ サービス

Brooks では、以下の製品の真空および大気ロボットのリファービッシュ サービスを以下の場所で提供しています。

アメリカ (マサチューセッツ州チェムスフォード)

ドイツ (イェーナ)


ABM 105
ABM-200、300、400
AcuLine
Aqua Tran
ATM105-1-CE
ATM-200、300、400
Axis Arms 3、4、5
DBM 2700、2406、2407
FIXLOAD 5
IRT
ロード ポート
MagnaTran/Mag 7
MagnaTran/Mag 8
MTR 5/VTR 5
Pre-200、Pre-300
Razor
Reliance ドライブ
シリーズ 8 コントローラ
トラック
VAC-407
VCE 6 および VCE 4
VCE リフト モジュール
Vision ロード ポート
WTM-107
WTM-511
ABM 105
ABM-200、300、400
Aculiner
ATM105-1-CE
ATM-200、300、400
DBM 2700、2406、2407
ERGOSPEED 3600
ERGOSPEED 3800
フィルタファンユニット
FIXLOAD
FIXMAP
ISE 150
ISE R150 (レチクル インデクサ)
ISE200
MagnaTran/Mag 7
MTR 5/VTR 5
MTX 300 mm ソーター
Pre-200 および Pre-300
Reliance
SSM200、200 mm SMIF ソーター
トラック
spacer10

中国 (上海)

韓国

AcuLiner
ATM-400、ABM-400
DBM 2406
Equipe コントローラ
MagnaTran/Mag 7
MagnaTran/Mag 8
プリアライナ 300
Reliance ATR8
シリーズ 8 コントローラ
VCE 4
AcuLiner
アライナー コントローラ
アーム セット
AXM
DBM
MagnaTran/Mag 60 シリーズ
MagnaTran/Mag 7
MagnaTran/Mag 70 シリーズ
MagnaTran/Mag 74
MagnaTran/Mag 8
MTR/VTR 5
Reliance
spacer10

台湾 (新竹市)

AXM
MagnaTran / Mag 7
Reliance