M600 Automatic RSP Cleaner

The M600 fully-automatic central force cleaner is the perfect solution for the automatic cleaning of RSP150 or RSP200. In manual mode, all types of reticle or wafer carriers can be cleaned.


  • Fully-automated cleaning of RSP150 or RSP200
  • あらゆる種類のレチクル/ウエハ キャリアの半自動洗浄
  • 内部バッファ
  • IR 乾燥テクノロジ
  • 手動操作が可能
  • OHT インターフェイス
  • クラス 1 ミニ環境および ESD
  • SEMI 標準準拠 SECS/GEM インターフェイス