M600 Automatic RSP Cleaner

M600全自動中央フォースクリーナーは、RSP150またはRSP200の自動クリーニングに最適なソリューションです。手動モードでは、すべての種類のレチクルまたはウェハキャリアを洗浄できます。

特徴

  • Fully-automated cleaning of RSP150 or RSP200
  • あらゆる種類のレチクル/ウエハ キャリアの半自動洗浄
  • 内部バッファ
  • IR 乾燥テクノロジ
  • 手動操作が可能
  • OHT インターフェイス
  • クラス 1 ミニ環境および ESD
  • SEMI 標準準拠 SECS/GEM インターフェイス