すべてのFOUPに対応
2つのユニークな形状室すべてSEMI準拠したフープの洗浄および乾燥を可能にします。
全自動プロセス（AMHS準備完了）
この無人省エネシステムはGEM300 / AMHSに準拠しています
かつ効率および洗浄性能を向上させます。
ワールドクラスのクリーニング＆乾燥性能
ワールドクラスの洗浄と乾燥性能は、各フープは2室で個別に洗浄することができます。精製水のジェットがチャンバ内のミニ環境を作成、複数のノズルから噴霧されます。二相乾燥システムは、FOUPをdrysそのすばやく水を除去します。
クラス1-10清潔インサイド
FFUとエリアセンサーの下にFOUP入口/出口ポイントに設置イオナイザバーは、マシンの内部清潔さと安全性を確保し、すべての側面を監視します。クラス1000-5000環境下でインストール可能な内部クラス1-10の清浄度が高品位クリーンルーム要件を最小限に抑えることができます。
ホットスタート法
私たちのホットスタート法は、チャンバは、いつでも使用することができますし、ウォームアップ時間や時間のかかるテストの実行を必要としません。
クロスコンタミネーションを防止
フープのIDが読み取られます。その後、フープは自動的に相互汚染を防止し、最適なクリーニングを保証室、でソートされます。
軽量化とシステムのモジュール化
システム重量は、元のモデルに比べて千キロを削減しました。モジュール化は、インストールを簡単にするために導入されています。小さなフットプリントは、生産ラインのレイアウトを変更する場合は、装置をインストールしてシフトすることが容易になります。
N 2 パージポート乾燥（オプション）
窒素パージポートは、特に洗浄・乾燥フープのために設計されているが利用可能です。
