Brooks Automation
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四半期報告書および年次報告書

著作権©1993-2019 Brooks Automation、Inc.
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  • Products & Solutions
    • 半導体オートメーション
      注目の製品
      Spartan 300 Sorter I/O　4ポート
      Spartan™ 300mm 4 I/O Sorter
       
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            • Reliance ATR ロボット
              Reliance ATR 大気ロボット
              Reliance ATR ロボット
              Reliance ATR ロボットは､優れた性能、信頼性、およびきわめて高度なクリーン度を提供し､ダイレクト ドライブ テクノロジーや DSP ベースの制御電子回路を活用しています｡
            • Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
              Razor ロボット FOUP
              Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
              Razorロボットでは、今日の最先端の半導体製造事業に必要な優れた性能、信頼性、およびきわめて高度なクリーン度を提供します。Brooksキネマティック マウント システム、特許取得済みのモーションコントロールテクノロジー、および信頼性の高いダイレクト ドライブ ロボットを備えるRazorロボットでは、迅速なセットアップ、高い再現性、および最大の稼働時間を実現します。
            • Razor™ アライナー
              大気 Razor アライナー
              Razor アライナー
              高性能大気Razorアライナーでは、200 mm、300 mm、または 450 mm ウエハーのきわめて精度の高いウエハー位置決め機能を提供します。最高の製造可能性を考慮して設計されたRazorアライナーおよびその他のRazorモジュールは、高品質ですぐに利用が可能です。迅速に製品を導入してリード タイムを減らすことができます。
          • 真空ロボット
             
            • MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran 7 BiSymmetrik ロボット
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。
            • MagnaTran® 7 Frogleg™
              MagnaTran 7 Frogleg ロボット
              MagnaTran® 7 Frogleg™
              MagnaTran® 7 Frogleg™ (MAG 7 F) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。
            • MagnaTran® 7 Leapfrog®
              MagnaTran 7 Leapfrog ロボット
              MagnaTran® 7 Leapfrog®
              MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) ロボットは MagnaTran 製品群のすべての機能と利点を保有し、要求の厳しいクラスタツールアプリケーションにおいて最高のスループットの提供が可能です。
            • MagnaTran® 7 SCARA
              MagnaTran 7 SCARA ロボット
              MagnaTran® 7 SCARA
              MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。
            • MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran 8 QuadraFly ロボット
              MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran®8 QuadraFly ロボットは、実績ある SCARA アームテクノロジーと信頼性の高いダイレクトドライブ ロボットを活用し、小型コンテインメントのスイング直径内で4枚のウエハーを真空で同時に交換できます。
            • MagnaTran® 8 Radius™
              MagnaTran 8 Radius ロボット
              MagnaTran® 8 Radius™
              デュアル アーム MagnaTran® 8 Radius™ ロボットは、MagnaTran の現場で実証済みのダイレクト ドライブテクノロジーのメリットを3軸ドライブにも活用しています。また、MagnaTran は小型コンテインメント直径内で4秒以下で迅速に切り替えを行う実績ある SCARA アームテクノロジーを採用しています。
          • コンポーネント
             
            • InLigner™
              Inligner
              InLigner
              InLigner は MagnaTran ロボットと連携。ノッチまたはフラット エッジ基準のいずれかを使用して、100 ～ 200 mm SEMI 標準と JEIDA 規格のウエハーのウエハーセンタリングを行い、エッジ基準の向きを指定します。また、最大 6 インチ平方の石英マスクを含む透明あるいは正方形、もしくはその両方の基板で使用する特殊な設定も利用できます。
            • Fusion™コントロールズ
              Fusion コントロール
              Fusion コントロールズ
              業界で最も柔軟かつ完全な自動化制御ソリューションです。Fusion 制御は、最大の性能と稼働時間をもたらします。完全にカスタマイズ可能できわめて使いやすいだけでなく、市場投入までの時間を短縮し、ツールの収益性を向上します。
        • ウエハー ハンドリング システム
           
          • 真空システム
             
            • VCE ロード ロック
              VCE
              真空カセット エレベータ （VCE） ロード ロック
              ウエハー製造環境に適した 4 つのスタイルを利用可能である VCE 6 真空カセットエレベータ ロードロックは、コスト効率の高い最新鋭の工場とのインターフェイスを提供し、AGV、RGV、またはオペレータによる 200 mm までの SEMI 標準のウエハーカセットへ、安全でクリーンな搬送を可能にします。
            • Marathon™ 2 搬送システム
              Marathon 2
              Marathon 2 搬送システム
              Brooks の先進的な真空ウエハー搬送テクノロジーは、半導体ウエハー加工やその他の複雑な製造環境でのツール自動化アプリケーションに最適です。Brooks では、特定の製造環境とプロセス要件を満たす 100 ～ 450 mm ウエハー搬送向けの多数の設定で使用できる幅広いシステムを提供しています。
            • Marathon™ Express
              Marathon Express
              Marathon Express 真空搬送システム
              Marathon Express® は、モジュール型で設定可能な真空搬送システム (VTS) であり、100 mm、125 mm、150 mm、および 200 mm サイズのウエハーのアプリケーションで優れた真空性能および高いスループットを実現するように最適化されています。
          • 大気システム
             
            • Jet™ 大気搬送システム
              Jet 2
              Jet 大気搬送システム
              すべての Brooks ウエハーハンドリングシステムの中核をなす大気自動化サブシステムである Jet は、お客様が共通のコアに基づいてプロセスツールを構築できるようシステム レベルで設計された最初の EFEM です。Jet は高速セットアップ、サイクルタイムの短縮、および既存の工場の機器やプロセスとのシームレスな統合を可能にするために、業界標準に基づく柔軟なモジュールアーキテクチャを備えています。
        • RFIDおよび赤外線によるアセットトラッキング
        • ファクトリ オートメーション ソリューション
           
          • Spartan ウエハー ソーター
            Spartan 300mm ウエハー ソーター I/O 　4ポート
            Spartan ウエハー ソーター
            このウエハー統合管理システムでは、必要最小限の動作にて複雑な要求を実行することが主要な作業である。ウエハーの搬送をクリーンかつ迅速に実行します。信頼性の向上、最大限の効率性を実現するだけでなく、最小粒子レベルでの業界をリードするクリーン度も実現します。
          • ロード ポート
             
            • IsoPort™ 300 ロード ポート
              IsoPort
              IsoPort 300 ロード ポート
              どのようなツールへも簡単に取り付け可能な自動ウエハーハンドリングソリューション。300 mm ウエハーに移行しようとしている機器メーカーと半導体メーカーの両方に、さまざまな面で大きなメリットを提供します。
            • Vision™ 300 ロード ポート
              FOUP と Vision ロードポート
              Vision 300 ロード ポート
              Vision ロードポートモジュールは、Brooks の最新世代のロードポートモジュールです。300 mm と 450 mm のツール オートメーション向けのインテリジェントで柔軟な工場インターフェイスモジュールです。セットアップと組み込みに非常に長いリード タイムが必要な LPM と異なり、Vision ロードポートモジュールは、最高の相互運用性、シームレスな互換性、および設定の容易さを目指して設計されています。
            • Certon™ 450ｍｍ ロード ポート
              Certon 450mm ロード ポート
              Certon™ 450ｍｍ ロード ポート
              Certon™ 450mm ロード ポートは、450 mm FOUP、FOSB、および MAC (Multi Application Carrier) の規格に準拠しています。
          • レチクルハンドリング
             
            • M2 レチクル チェンジャ
              M2 レチクル チェンジャ
              M2 レチクル チェンジャ
              Brooks M2 レチクル チェンジャは、レチクル/マスクの交換および検査システムです。個別の I/O ステーションにより、すべてのスキャナ/ステッパおよび出荷ボックス (キヤノン、ニコン、ASML、凸版印刷、HOYA、DMS ボックスなど) の間におけるレチクル/マスクの転送が可能になります。
            • ナロー レチクル インデクサ
              ナロー レチクル インデクサ
              ナロー レチクル インデクサ
              レクチルのインベントリ管理の効率性が向上します。微粒子汚染のさまざまな発生源および気中分子状汚染からレチクルを守ると同時に、フォトリソグラフィ装置に標準インターフェイスを提供します。
          • SMIF ソリューション
             
            • SMIF ロード ポート トランスファー (LPT)
              SMIF ロードポートトランスファー
              SMIF ロード ポート トランスファー (LPT)
              人間工学に基づいて設計された SMIF-I/O で、幅広い 200 mm および 150 mm ウエハープロセス装置および計測装置に SMIF-Pod カセットのロードおよびアンロード機能の内臓が可能です。
            • SMIF-INX インデクサ
              SMIF INX インデクサ
              SMIF-INX インデクサ
              Z 軸移動機能の無いウエハーハンドラー又はカセット位置のＺ軸移動が不要なZ 軸機能付きウエハーハンドラー向けに提供出来るよう設計されています。
            • VersaPort™ 2200 ロード ポート
              VersaPort 2200 SMIF ロード ポート
              VersaPort 2200 ロード ポート
              ロードポートオープナーであり、業界で最も先進的な 200 mm SMIF (Standard Mechanical Interface) I/O 処理ツール。200 mm から 300 mm への移行用の "ブリッジ ツール" として設計されていますが、VersaPort 2200 では SMIF の I/O 処理にオープン カセットのソリューションも提供します。

    • 半導体コンタミネーション コントロール
      注目の製品
      M800
      M800完全Automatic300mm FOUPクリーナー
       
        • 洗浄装置
          • FOUP/ポッドクリーナー
             
            • M800 300mm FOUPクリーナー
              M800
              M800 300mm FOUPクリーナー
              M800全自動300mm FOUPクリーナーは、最高のパーティクル洗浄およびAMC洗浄性能を兼ね備え、最高のスループットで湿度制御を提供します。
            • M330全自動FOUPクリーナー
              M330 FOUPクリーナー
              M330 FOUP全自動クリーナー
              M330クリーナーは世界クラスの全自動FOUP互換システムで、優れた洗浄・乾燥性能、使いやすさ、コスト効率を提供します。
            • M600自動ポッドクリーナー
              M600
              M600自動ポッドクリーナー
              M600全自動中央フォースクリーナーは、RSP150またはRSP200の自動クリーニングに最適なソリューションです。手動モードでは、すべての種類のレチクルまたはウェハキャリアを洗浄できます。
            • M300半自動FOUP/ポッドクリーナー
              M300
              M300半自動FOUP/ポッドクリーナー
              M300半自動機はあらゆる種類のキャリア（SMIF、オープンカセット、FOUP、FOSB、RSPおよびクラムシェル）のためのユニバーサル遠心力クリーナーです。比類のない洗浄と乾燥を実現します。
          • EUVポッドクリーナー
             
            • M1000 EUV ポッド クリーナー
              M1000
              EUVポッドクリーナー
              M1000全自動EUVポッドクリーナーは、EUVまたはRSP200の各部品の個別洗浄で最大のパフォーマンスを発揮します。
        • クリーン ストレージ
          • レチクル ストッカー
            • M1500 半自動
              M1500
              M1500 半自動レチクル ボックス ストッカー
              Brooks の半自動 M1500 レチクル ボックス ストッカーは、ケースに最大 1,500 枚のレチクルを保管できます。 レチクル ボックスは ID で識別され、データ ファイルはデータベースに記録されます。
            • M1900 レチクル ストッカー
              M1900 全自動
              M1900 レチクル ストッカー
              M1900 レチクル ストッカーには、全自動セミベア、全自動 RSP150、全自動 EUV ポッド ストッカー、半自動の 4 つのバリエーションがあります。
          • レチクル収納
            レチクル収納
            • SMIFポッド用のRPS-C自動保管管理システム
              RPS-C SMIFポッド用の自動保管および管理システム
              SMIFポッド用のRPS-C自動保管管理システム
              RPS-Cは、オプションのxCDAまたはN2パージを備えたレチクルSMIFポッド（RSP）用の完全自動化されたスタンドアロンの保管および在庫管理システムです。
            • RSベアレチクルストッカーファミリー
              RSスケーラブル高密度ベアレチクルストッカーファミリ
              RSベアレチクルストッカーファミリー
              RSファミリーはソーターと最大2900レチクルのストッカー容量を組み合わせた完全自動のレチクル管理システムを提供します。
            • RS-Cレチクル保管・検査システム
              RS-Cフレキシブルでスケーラブルなレチクル保管および検査システム
              RS-Cレチクル保管・検査システム
              RS-Cは、6インチ用の完全に自動化された非常に柔軟なスタンドアロンの保管および検査システムです。
            • RXレチクルストッカーとキャリアバッファー
              RXレチクルストッカーとキャリアバッファーの革新的な組み合わせ
              RXレチクルストッカーとキャリアバッファー
              RXファミリは、工場全体でレチクルを管理するためのレチクルストッカーとキャリアバッファの革新的な組み合わせです。
            • RXiレチクル検査、選別および保管プラットフォーム
              RXiレチクル検査、分類および保管プラットフォーム
              RXiレチクル検査、選別および保管プラットフォーム
              RXiは6インチ用の全自動スタンドアロン検査システムです。
        •  
          • ウェハ キャリア & ボックス
            • レチクル ボックス
              メガ光学ケース
              レチクル ボックス
              • メガ光学ケース
              • A Rapid
              • B Ultra
              • C Swift
              • D Twin
              • カスタム仕様
            • ウエハ キャリア
              ウエハ キャリア 8"
              ウエハ キャリア
              • 6 " ウエハ キャリア
              • 8 " ウエハ キャリア
            • ウエハ輸送ボックス
              ウエハ キャリア輸送ボックス
              ウエハ輸送ボックス
              • 200mm ウエハ輸送ボックス
              • 200mm 単一ウエハ輸送ボックス
          • レチクルハンドリング
             
            • M2 レチクル チェンジャ
              M2 レチクル チェンジャ
              M2 レチクル チェンジャ
              Brooks M2 レチクル チェンジャは、レチクル/マスクの交換および検査システムです。個別の I/O ステーションにより、すべてのスキャナ/ステッパおよび出荷ボックス (キヤノン、ニコン、ASML、凸版印刷、HOYA、DMS ボックスなど) の間におけるレチクル/マスクの転送が可能になります。
            • ナロー レチクル インデクサ
              ナロー レチクル インデクサ
              ナロー レチクル インデクサ
              レクチルのインベントリ管理の効率性が向上します。微粒子汚染のさまざまな発生源および気中分子状汚染からレチクルを守ると同時に、フォトリソグラフィ装置に標準インターフェイスを提供します。

    • ライフ サイエンス

    • 低温学
      注目の製品
      On-Board IS クライオポンプ
      On-Board® IS クライオポンプ
       
        • Brooks CTI-Cryogenics
           
          • クライオポンプおよびコンプレッサ
             
            • On-Board® IS クライオポンプ システム
              On-Board IS 320 クライオポンプ
              On-Board® IS クライオポンプ システム
              インテリジェントな On-Board IS クライオポンプ システムは、革新的な高効率極低温技術を活用し、類を見ない真空性能とエネルギー効率を提供します。特許取得済みの分散制御システムにより、クライオポンプ システムの個々の性能に対してモニタリングと調整が常時行われるため、システム全体で最適な真空性能が維持され、他社にないプロセス整合性を実現できます。
            • On-Board® クライオポンプ
              On-Board IS クライオポンプ
              On-Board® クライオポンプ
              迅速な統合が可能でシステム運用を向上させる On-Board 極低温真空ポンプは、信頼性と性能における世界標準となっています。完全に統合されたコントロールと対応周辺機器を使用することで、On-Board クライオポンプは優れた稼働時間を実現し、その安定した性能によって全体的なツールの生産性と稼働時間を向上させます。
            • Cryo-Torr® クライオポンプ
              CryoTorr 8 クライオポンプ
              Cryo-Torr® クライオポンプ
              Cryo-Torr クライオポンプは、重要な真空プロセス アプリケーションにおいて、クリーンで信頼性の高い高速排気を提供します。柔軟性を高めるため、特定のアプリケーションのニーズに合わせて独自にカスタマイズしたコントロールおよび対応周辺機器を追加することができます。
            • On-Board® ウォーターポンプ
              On-Board ウォーターポンプ
              On-Board® ウォーターポンプ
              On-Board ウォーターポンプは、水蒸気の排気速度を高めてシステムのスループットを大幅に向上させ、より優れたプロセス結果を提供する、高性能の真空ポンプです。
            • コンプレッサ
              クライオ コンプレッサ
              コンプレッサ
              Brooks CTI クライオジェニクスは、On-Board クライオポンプ、Cryo-Torr クライオポンプ、On-Board ウォーターポンプと連動して最適な性能を発揮するように設計された、さまざまなコンプレッサを提供します。統合されたクライオポンプ電力周波数変換器により、すべての Brooks 真空ポンプにおいて 50 Hz と 60 Hz 両方のアプリケーションで確実に最大のクライオポンプ性能が発揮されます。
        • Brooks Polycold
           
          • クライオチラーおよびクライオクーラー
             
            • P-102 クライオチラー
              P-102 クライオチラー
              P-102 クライオチラー
              小型真空システムにおいて、液体窒素に代わるコンパクトで使いやすい冷却手段を提供します。この極低温冷凍機は、液体窒素を使用した場合のコスト、不便性、危険性を解消しつつ、同等の性能を発揮します。
            • PCC コンパクトクーラー
              Polycold PCC コンポーネント クーラー
              PCC コンパクトクーラー
              PCC コンパクト クーラーは、コンパクトで高性能の冷却システムです。 高精細デジタル イメージング、分析化学、ライフ サイエンス、材料分析、半導体検査、 科学研究、水蒸気のクライオトラップなどの要求の厳しい用途において、今までにない効率性と信頼性を提供します。
            • PGC ガスチラー
              PGC Polycold
              PGC ガスチラー
              PGC ガス チラーは、窒素、アルゴン、空気などの圧縮ドライ ガスを予冷なしに外気温から極低温に冷却します。PGC ガス チラーは、ガス配管接続型熱交換器への冷媒を使用して非循環ガス流を冷却する閉ループ冷凍システムです。
            • MaxCool クライオチラー
              XC Cryochiller
              MaxCool クライオチラー
              Polycold MaxCool クライオチラーは、それぞれ最大 2,500 ワット、4,000 ワットの冷却が可能な閉ループ極低温冷凍システムです。これらのクライオチラーは、クライオコイルまたはシェブロン バッフルなどの低温表面上に水蒸気および他の凝縮性物質を凍結させて捕集するために使用できます。MaxCool クライオチラーは、半導体ウエハー処理で使用される静電チャックなどの対象物を冷却、加熱するためにも使用されます。
            • PFC水蒸気クライオチラー
              PFC Polycold
              PFC水蒸気クライオチラー
              Brooks Polycold® PFC水蒸気クライオチラーは、一般に高真空システムのガス負荷のうち65～95%を占める水蒸気を効果的に取り込みます。このクライオチラーは動作開始から数分で水蒸気を取り込み、4分未満で霜取りし、処理中の水蒸気分圧を低下させ、より高品質で接着性が高く、再現性の優れた堆積物が得られます。
            • Cryodyne 冷凍機
              Cryodyne 冷凍機
              Cryodyne 冷凍機
              Cryodyne 冷凍システムは、Gifford-McMahon 熱力学サイクルに基づく 2 段階の閉サイクル ヘリウム冷凍システム製品群です。10K 未満から 80K 超への温度設定が利用可能なため、さまざまな商用アプリケーションと研究アプリケーションに非常に適しています。
            • 冷媒補充チャージ
              冷媒補充チャージ
              ご使用のモデル番号向け冷媒補充チャージ部品番号を調べてご注文ください。
        •  
           

    • ドキュメント

  • 業種別アプリケーション
    • 半導体ツールオートメーション
        • ディスプレイ製造
           
        • LED
           
        • ウエハー レベルのパッケージング
           
        • RFID アセット・トラッキング
            • RFID アセット・トラッキング
              • 業種別ソリューション
                • 製造自動化
                • 自動車
                • 専門衣類の管理
                • 小売り POS システム
                • 健康管理機関
                • 食品
                • 出入管理
            •  
              • 小売店端末向け RFIDeas
                • パーフェクト ソムリエ
                • インテリジェント フィッティング ルーム
                • Tell2Sell シューズ ラック
            •  
              • RFID 基本情報
                • 用語集
                • コンポーネント
                • コスト
                • 利点
                • 歴史
                • アプリケーション
                • 周波数
                • 規格


    • 一般的な真空＆極低温
        • テクニカル ライブラリ
           
          アプリケーションノート、技術論文および出版物のブルックス極低温技術文書ライブラリ。

    • ライフ サイエンス

  • サービス
    • 半導体
        • 連絡先
          サービス電話番号および受付時間
        • リファービッシュ
           
          • ロボット
          • クライオポンプおよびコンプレッサ
          • クライオチラーおよび CryoTiger
          • バルブ、コントローラ、モジュール
        • 認定中古機器
          認定中古機器
          Certified Used Automation and Vacuum Products
        • 修理/交換
          • Cryopump Repair
             
            • Cryo-Torr® クライオポンプ
              CryoTorr 8 クライオポンプ
              Cryo-Torr® クライオポンプ
              • 最も広範囲の CTI-Cryogenics クライオポンプおよびコンプレッサを提供するワン ストップ グローバル ショップ
              • OEM : 製品の技術専門家と設計技師
              • 大規模な半導体製造工場のあるすべての地域で修理可能
              • すべての修理レベルに対する 1 年間の包括的な保証
            • On-Board® クライオポンプ
              On-Board IS クライオポンプ
              On-Board® クライオポンプ
              • 最も広範囲の CTI-Cryogenics クライオポンプおよびコンプレッサを提供するワン ストップ グローバル ショップ
              • OEM : 製品の技術専門家と設計技師
              • 大規模な半導体製造工場のあるすべての地域で修理可能
              • すべての修理レベルに対する 1 年間の包括的な保証
            • On-Board® IS クライオポンプ
              On-Board IS 320 クライオポンプ
              On-Board® IS クライオポンプ
              • 最も広範囲の CTI-Cryogenics クライオポンプおよびコンプレッサを提供するワン ストップ グローバル ショップ
              • OEM : 製品の技術専門家と設計技師
              • 大規模な半導体製造工場のあるすべての地域で修理可能
              • すべての修理レベルに対する 1 年間の包括的な保証
            • コンプレッサ
              クライオ コンプレッサ
              コンプレッサ
              • 最も広範囲の CTI-Cryogenics クライオポンプおよびコンプレッサを提供するワン ストップ グローバル ショップ
              • OEM : 製品の技術専門家と設計技師
              • 大規模な半導体製造工場のあるすべての地域で修理可能
              • すべての修理レベルに対する 1 年間の包括的な保証
          • 大気ロボット
             
            • AcuLigner
              Aculigner ロボット
              AcuLigner
              AcuLigner™ 大気ロボットは、Brooks Automation ハイ パフォーマンス大気ウエハー ハンドリング ソリューションに不可欠です。ダイレクト ドライブ技術とオンボード コントロールを利用するこれらのシステムは、性能と生産性で重要な役割を果たします。修理による長時間のダウンタイムは許されません。これに対応するため、Brooks は AcuLigner 製品をサポートする定額修理プログラムを用意しています。
            • AcuTran AquaTran
              AquaTran ロボットの修理
              AcuTran AquaTran
              Brooks では、AcuTran/AquaTran 7 製品群のロボットの運用寿命と生産性を向上させる、段階的定額修理サービス プログラムを提供しています。
            • MultiTran 5 VacuTran 5
              MultiTran VacuTran ロボットの修理
              MultiTran 5 / VacuTran 5
              Brooks の特許取得済み BiSymmetrik™ アームとデュアル SEMI/MESC 準拠エンド エフェクタを装備した MTR 5 M モデル MultiTran® 5 ロボットは、単独クラスタ ツールでのハイ スループット処理が可能な真空ウエハー ハンドリング ロボットです。

              VTR 5 M モデル VacuTran™ 5 ロボットは、SEMI/MESC 準拠アームおよびエンド エフェクトを装備した信頼性の高いウエハー ハンドリング ロボットです。VTR 5 M は、クラスタ ツールのモジュールなどの大きな搬送室モジュール内のアプリケーションに対する、シングル アーム構成のトップ マウント ロボットです。
            • Razor
              Razor 大気ロボット
              Reliance ATR 8
              Razor のモジュール設計により、お客様が平均修理時間 (MTTR) 戦略に合わせて現場交換可能なユニット (FRU) のパッケージをカスタマイズし、予定外のダウンタイムを最小限に抑えることができます。Brooks は Razor ロボットをサポートする定額修理プログラムを用意しています。
            • Reliance ATR 8
              Reliance ロボットの修理
              Reliance ATR 8
              Reliance ATR では、長い修理サイクル タイムによってコストの増加と予定外のダウンタイムが発生する可能性があります。これに対応するため、Brooks は Reliance ATR をサポートする定額修理プログラムを用意しています。
          • Equipe / PRI ロボット
             
            • AxM 100/200/400
              Equipe PRI AxM Robot
              AxM 100/200/400
              • 最も広範囲の Brooks、Equipe、PRI、Yaskawa ロボットを提供するワン ストップ グローバル ショップ
              • OEM : 製品の技術専門家と設計技師
              • 大規模な半導体製造工場のあるすべての地域で修理可能
            • DBM 2400/2700
              Equipe PRI DBM ロボットの修理
              DBM 2400/2700
              • 最も広範囲の Brooks、Equipe、PRI、Yaskawa ロボットを提供するワン ストップ グローバル ショップ
              • OEM : 製品の技術専門家と設計技師
              • 大規模な半導体製造工場のあるすべての地域で修理可能
            • PRE-200™ PreAligner
              Equipe PRI PreAligner
              PRE-200™ PreAligner
              • 最も広範囲の Brooks、Equipe、PRI、Yaskawa ロボットを提供するワン ストップ グローバル ショップ
              • OEM : 製品の技術専門家と設計技師
              • 大規模な半導体製造工場のあるすべての地域で修理可能
          • 真空ロボット
             
            • MagnaTran 7
              MagnaTran 7 真空ロボット
              MagnaTran 7
              MagnaTran® 7 (MAG 7) ロボットは、クラスタ ツールなどの真空隔離環境で操作するための、信頼性の高い最先端のロボットです。11.5 MCBF を上回る信頼性が証明されています。MagnaTran 7 では、長い修理サイクル タイムによってコストの増加と予定外のダウンタイムが発生する可能性があります。これに対応するため、Brooks は MagnaTran 7 ロボットをサポートする定額修理プログラムを用意しています。
            • MagnaTran 8
              MagnaTran 8 ロボットの修理
              MagnaTran 8
              Brooks では、MagnaTran 8 製品群の真空ロボットの運用寿命と生産性を向上させる、段階的定額修理サービス プログラムを提供しています。
            • VAC 407
              VAC 407 ロボット
              VAC 407
              Brooks では、VAC-407 真空ロボットの運用寿命と生産性を向上させる、段階的定額修理サービス プログラムを提供しています。
          • ロボット コントローラ
            ロボット コントローラ
            ロボット コントローラ
            Brooks では、AXM 、DBM、AquaTran™/AcuTran®、Reliance™ ATR™ ロボット製品群と連動するロボット コントローラの運用寿命と生産性を向上させる、段階的定額修理サービス プログラムを提供しています。
        •  
        • Other Repairs & Exchanges

          大気ロボットと真空ロボット、真空ゲージ、コントローラ、モニタ、クライオポンプに対する定額修理プログラム。

          • 銅の分離
            銅が含まれないプロセスとそれらのプロセスで使用される機器の汚染を防止。
          • グローバル修理センター所在地
            アメリカ、ヨーロッパ、アジアの修理センター所在地。
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        • アップグレード サービス
           
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