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              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。
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              MagnaTran® 7 Frogleg™ (MAG 7 F) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。
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              MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) ロボットは MagnaTran 製品群のすべての機能と利点を保有し、要求の厳しいクラスタツールアプリケーションにおいて最高のスループットの提供が可能です。
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              MagnaTran 7 SCARA ロボット
              MagnaTran® 7 SCARA
              MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。
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              MagnaTran 8 QuadraFly ロボット
              MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran®8 QuadraFly ロボットは、実績ある SCARA アームテクノロジーと信頼性の高いダイレクトドライブ ロボットを活用し、小型コンテインメントのスイング直径内で4枚のウエハーを真空で同時に交換できます。
            • MagnaTran® 8 Radius™
              MagnaTran 8 Radius ロボット
              MagnaTran® 8 Radius™
              デュアル アーム MagnaTran® 8 Radius™ ロボットは、MagnaTran の現場で実証済みのダイレクト ドライブテクノロジーのメリットを3軸ドライブにも活用しています。また、MagnaTran は小型コンテインメント直径内で4秒以下で迅速に切り替えを行う実績ある SCARA アームテクノロジーを採用しています。
        • ウエハー ハンドリング システム
           
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              VCE
              真空カセット エレベータ （VCE） ロード ロック
              ウエハー製造環境に適した 4 つのスタイルを利用可能である VCE 6 真空カセットエレベータ ロードロックは、コスト効率の高い最新鋭の工場とのインターフェイスを提供し、AGV、RGV、またはオペレータによる 200 mm までの SEMI 標準のウエハーカセットへ、安全でクリーンな搬送を可能にします。
            • Marathon™ 2 搬送システム
              Marathon 2
              Marathon 2 搬送システム
              Brooks の先進的な真空ウエハー搬送テクノロジーは、半導体ウエハー加工やその他の複雑な製造環境でのツール自動化アプリケーションに最適です。Brooks では、特定の製造環境とプロセス要件を満たす 100 ～ 450 mm ウエハー搬送向けの多数の設定で使用できる幅広いシステムを提供しています。
            • Marathon™ Express
              Marathon Express
              Marathon Express 真空搬送システム
              Marathon Express® は、モジュール型で設定可能な真空搬送システム (VTS) であり、100 mm、125 mm、150 mm、および 200 mm サイズのウエハーのアプリケーションで優れた真空性能および高いスループットを実現するように最適化されています。
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              Jet 2
              Jet 大気搬送システム
              すべての Brooks ウエハーハンドリングシステムの中核をなす大気自動化サブシステムである Jet は、お客様が共通のコアに基づいてプロセスツールを構築できるようシステム レベルで設計された最初の EFEM です。Jet は高速セットアップ、サイクルタイムの短縮、および既存の工場の機器やプロセスとのシームレスな統合を可能にするために、業界標準に基づく柔軟なモジュールアーキテクチャを備えています。
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            Spartan 300mm ウエハー ソーター I/O 　4ポート
            Spartan ウエハー ソーター
            このウエハー統合管理システムでは、必要最小限の動作にて複雑な要求を実行することが主要な作業である。ウエハーの搬送をクリーンかつ迅速に実行します。信頼性の向上、最大限の効率性を実現するだけでなく、最小粒子レベルでの業界をリードするクリーン度も実現します。
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              IsoPort
              IsoPort 300 ロード ポート
              どのようなツールへも簡単に取り付け可能な自動ウエハーハンドリングソリューション。300 mm ウエハーに移行しようとしている機器メーカーと半導体メーカーの両方に、さまざまな面で大きなメリットを提供します。
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              FOUP と Vision ロードポート
              Vision 300 ロード ポート
              Vision ロードポートモジュールは、Brooks の最新世代のロードポートモジュールです。300 mm と 450 mm のツール オートメーション向けのインテリジェントで柔軟な工場インターフェイスモジュールです。セットアップと組み込みに非常に長いリード タイムが必要な LPM と異なり、Vision ロードポートモジュールは、最高の相互運用性、シームレスな互換性、および設定の容易さを目指して設計されています。
            • Certon™ 450ｍｍ ロード ポート
              Certon 450mm ロード ポート
              Certon™ 450ｍｍ ロード ポート
              Certon™ 450mm ロード ポートは、450 mm FOUP、FOSB、および MAC (Multi Application Carrier) の規格に準拠しています。
          • レチクルハンドリング
             
            • M2 レチクル チェンジャ
              M2 レチクル チェンジャ
              M2 レチクル チェンジャ
              Brooks M2 レチクル チェンジャは、レチクル/マスクの交換および検査システムです。個別の I/O ステーションにより、すべてのスキャナ/ステッパおよび出荷ボックス (キヤノン、ニコン、ASML、凸版印刷、HOYA、DMS ボックスなど) の間におけるレチクル/マスクの転送が可能になります。
            • ナロー レチクル インデクサ
              ナロー レチクル インデクサ
              ナロー レチクル インデクサ
              レクチルのインベントリ管理の効率性が向上します。微粒子汚染のさまざまな発生源および気中分子状汚染からレチクルを守ると同時に、フォトリソグラフィ装置に標準インターフェイスを提供します。
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            • SMIF ロード ポート トランスファー (LPT)
              SMIF ロードポートトランスファー
              SMIF ロード ポート トランスファー (LPT)
              人間工学に基づいて設計された SMIF-I/O で、幅広い 200 mm および 150 mm ウエハープロセス装置および計測装置に SMIF-Pod カセットのロードおよびアンロード機能の内臓が可能です。
            • SMIF-INX インデクサ
              SMIF INX インデクサ
              SMIF-INX インデクサ
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            • VersaPort™ 2200 ロード ポート
              VersaPort 2200 SMIF ロード ポート
              VersaPort 2200 ロード ポート
              ロードポートオープナーであり、業界で最も先進的な 200 mm SMIF (Standard Mechanical Interface) I/O 処理ツール。200 mm から 300 mm への移行用の "ブリッジ ツール" として設計されていますが、VersaPort 2200 では SMIF の I/O 処理にオープン カセットのソリューションも提供します。

    • 半導体コンタミネーション コントロール
      注目の製品
      M800
      M800完全Automatic300mm FOUPクリーナー
       
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          • FOUP/ポッドクリーナー
             
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              M800
              M800 300mm FOUPクリーナー
              M800全自動300mm FOUPクリーナーは、最高のパーティクル洗浄およびAMC洗浄性能を兼ね備え、最高のスループットで湿度制御を提供します。
            • M330全自動FOUPクリーナー
              M330 FOUPクリーナー
              M330 FOUP全自動クリーナー
              M330クリーナーは世界クラスの全自動FOUP互換システムで、優れた洗浄・乾燥性能、使いやすさ、コスト効率を提供します。
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              M600
              M600自動ポッドクリーナー
              M600全自動中央フォースクリーナーは、RSP150またはRSP200の自動クリーニングに最適なソリューションです。手動モードでは、すべての種類のレチクルまたはウェハキャリアを洗浄できます。
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              M300半自動FOUP/ポッドクリーナー
              M300半自動機はあらゆる種類のキャリア（SMIF、オープンカセット、FOUP、FOSB、RSPおよびクラムシェル）のためのユニバーサル遠心力クリーナーです。比類のない洗浄と乾燥を実現します。
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              M1000
              EUVポッドクリーナー
              M1000全自動EUVポッドクリーナーは、EUVまたはRSP200の各部品の個別洗浄で最大のパフォーマンスを発揮します。
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              M1500
              M1500 半自動レチクル ボックス ストッカー
              Brooks の半自動 M1500 レチクル ボックス ストッカーは、ケースに最大 1,500 枚のレチクルを保管できます。 レチクル ボックスは ID で識別され、データ ファイルはデータベースに記録されます。
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              M1900 全自動
              M1900 レチクル ストッカー
              M1900 レチクル ストッカーには、全自動セミベア、全自動 RSP150、全自動 EUV ポッド ストッカー、半自動の 4 つのバリエーションがあります。
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            レチクル収納
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              RPS-C SMIFポッド用の自動保管および管理システム
              SMIFポッド用のRPS-C自動保管管理システム
              RPS-Cは、オプションのxCDAまたはN2パージを備えたレチクルSMIFポッド（RSP）用の完全自動化されたスタンドアロンの保管および在庫管理システムです。
            • RSベアレチクルストッカーファミリー
              RSスケーラブル高密度ベアレチクルストッカーファミリ
              RSベアレチクルストッカーファミリー
              RSファミリーはソーターと最大2900レチクルのストッカー容量を組み合わせた完全自動のレチクル管理システムを提供します。
            • RS-Cレチクル保管・検査システム
              RS-Cフレキシブルでスケーラブルなレチクル保管および検査システム
              RS-Cレチクル保管・検査システム
              RS-Cは、6インチ用の完全に自動化された非常に柔軟なスタンドアロンの保管および検査システムです。
            • RXレチクルストッカーとキャリアバッファー
              RXレチクルストッカーとキャリアバッファーの革新的な組み合わせ
              RXレチクルストッカーとキャリアバッファー
              RXファミリは、工場全体でレチクルを管理するためのレチクルストッカーとキャリアバッファの革新的な組み合わせです。
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              RXiレチクル検査、分類および保管プラットフォーム
              RXiレチクル検査、選別および保管プラットフォーム
              RXiは6インチ用の全自動スタンドアロン検査システムです。
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              Brooks M2 レチクル チェンジャは、レチクル/マスクの交換および検査システムです。個別の I/O ステーションにより、すべてのスキャナ/ステッパおよび出荷ボックス (キヤノン、ニコン、ASML、凸版印刷、HOYA、DMS ボックスなど) の間におけるレチクル/マスクの転送が可能になります。
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              ナロー レチクル インデクサ
              ナロー レチクル インデクサ
              レクチルのインベントリ管理の効率性が向上します。微粒子汚染のさまざまな発生源および気中分子状汚染からレチクルを守ると同時に、フォトリソグラフィ装置に標準インターフェイスを提供します。

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