MultiTran® 5/VacuTran™ 5 大気ロボットの修理

MultiTran VacuTran ロボットの修理

Brooks の特許取得済み BiSymmetrik™ アームとデュアル SEMI/MESC 準拠エンド エフェクタを装備した MTR 5 M モデル MultiTran® 5 ロボットは、単独クラスタ ツールでのハイ スループット処理が可能な真空ウエハー ハンドリング ロボットです。

VTR 5 M モデル VacuTran™ 5 ロボットは、SEMI/MESC 準拠アームおよびエンド エフェクトを装備した信頼性の高いウエハー ハンドリング ロボットです。 VTR 5 M は、クラスタ ツールのモジュールなどの大きな搬送室モジュール内のアプリケーションに対する、シングル アーム構成のトップ マウント ロボットです。VTR 5 M は、クラスタ ツールのモジュールなどの大きな搬送室モジュール内のアプリケーションに対する、シングル アーム構成のトップ マウント ロボットです。

Brooks のアドバンテージ

  • 最も広範囲の Brooks、Equipe、PRI、Yaskawa ロボットを提供するワン ストップ グローバル ショップ
  • OEM : 製品の技術専門家と設計技師
  • 大規模な半導体製造工場のあるすべての地域で修理可能
  • 修理レベル
  • すべての地域でシード ユニットの交換が可能
  • アップグレードと CIP の修理への追加
  • Brooks のパーツのみを使用する ISO 認証修理
  • 一貫した品質と性能を維持する均一なグローバル修理プロセス
  • サービス レベルに関係なく、すべての製品で一定のリード タイム
  • すべてのロボットに対してカスタマイズされた修理契約が可能

MultiTran 5/VacuTran 5 ロボットの定額修理オプション

サービス レベル 説明 保証
部分修理 製品テストの仕様を満たす最小限の修理を提供します。 ユニット全体で 90 日
予防保全を含む高度な修理 磨耗しやすいパーツに対応し、必要に応じて予期せぬ不具合を防ぐ予防保全が部分修理に追加されます。 ユニット全体で 12 か月
リファービッシュ Brooks Engineering によって定義されたユニットの新しい運用仕様を満たすようにユニットを完全に組み立て直します。必要に応じてユニットの装飾品を交換します。 ユニット全体で 12 か月

Brooks 認定修理は、専門家による質の高いサービスをお求めのお客様に最適です。これらの修理は、老朽化しつつある製品の性能を最適化し、お客様のすべてのオートメーション機器に適した耐用年数を達成するように計画されています。

MultiTran 5/VacuTran 5 ロボットの修理の特徴

  • 詳細な修理評価レポート
  • Copy Exact の厳守
  • 外装修理オプション
  • 綿密な故障解析オプション

プロアクティブ型契約

大規模な導入を行うお客様の場合、ユニットの交換を含む予防保全またはリファービッシュ サービス レベルのいずれかと組み合わせた保守契約をご利用いただけます。これらの契約では、稼働時間の要件に対応してスペア ユニットをすぐに提供できます。このプログラムは固定価格のため維持費の計画と予測が可能な一方で、お客様が設備保全をプロアクティブに管理して装置の予期せぬダウンタイムを減少させることができます。