CTI-Cryogenics On-Board® IS クライオポンプ

修理/リファービッシュ サービス

IS 320 FX

Brooks CTI-Cryogenics のインテリジェントな On-Board IS クライオポンプ システムは、革新的な高効率極低温技術を活用し、類を見ない真空性能とエネルギー効率を提供します。特許取得済みの分散制御システムにより、クライオポンプ システムの個々の性能に対してモニタリングと調整が常時行われるため、システム全体で最適な真空性能が維持され、他社にないプロセス整合性を実現できます。

Brooks のアドバンテージ

  • 最も広範囲の CTI-Cryogenics クライオポンプおよびコンプレッサを提供するワン ストップ グローバル ショップ
  • OEM : 製品の技術専門家と設計技師
  • 大規模な半導体製造工場のあるすべての地域で修理可能
  • すべての修理レベルに対する 1 年間の包括的な保証
  • 修理レベル
  • すべての地域でシード ユニットの交換が可能
  • アップグレードと CIP の修理への追加
  • Brooks のパーツのみを使用する ISO 認証修理
  • 一貫した品質と性能を維持する均一なグローバル修理プロセス
  • サービス レベルに関係なく、すべての製品で一定のリード タイム
  • すべてのロボットに対してカスタマイズされた修理契約が可能

On-Board クライオポンプの修理/リファービッシュ オプション

サービス レベル モデル リード タイム
リファービッシュ すべての現モデルが対象: On-Board IS 8、8F、8F XP、250FE、320FE、320FX 3 ~ 4 週間
イクスチェンジ すべての現モデルが対象: On-Board IS 8、8F、8F XP、250FE、320FE、320FX 5 ~ 7 営業日
修理 ほとんどの現モデルが対象* 翌営業日

* 対象モデルの詳細については、お問い合わせください

Brooks 認定修理は、専門家による質の高いサービスをお求めのお客様に最適です。これらの修理は、老朽化しつつある製品の性能を最適化し、お客様のすべての極低温ニーズに適した耐用年数を達成するように計画されています。

On-Board クライオポンプの修理の特徴

  • 性能のアップグレード オプションを選択可能
  • 高度な評価診断ツール
  • 出荷検査
  • Copy Exact の厳守
  • 綿密な故障解析オプション

プロアクティブ型契約

大規模な導入を行うお客様の場合、ユニットの交換を含む予防保全またはリファービッシュ サービス レベルのいずれかと組み合わせた保守契約をご利用いただけます。これらの契約では、稼働時間の要件に対応してスペア ユニットをすぐに提供できます。このプログラムは固定価格のため維持費の計画と予測が可能な一方で、お客様が設備保全をプロアクティブに管理して装置の予期せぬダウンタイムを減少させることができます。