VCE ロード ロック

Brooks は、フラット パネル ディスプレイの製造、およびその他の複雑な製造環境向けの半導体ウエハー処理向けの真空ハンドリング ロボットおよびモジュールの生産におけるグローバル リーダーです。Brooks は、当社の最高クラスの製品を差別化し、スループット、信頼性、保守性において大きなメリットを提供する優れた知的財産を蓄積することにより、テクノロジーと市場のリーダーとしての地位を獲得しました。Brooks の現場で実証済みのウエハー搬送ロボットやモジュールは、今日のメーカーが効率的な製造を行い、革新を迅速化し、利益創出を促進できる高い性能と所有コストを提供します。

Brooks VCE 6 真空カセット エレベータのロード ロックは、AGV、RGV、またはオペレータによる 200 mm までの SEMI 標準のウエハー カセットへの安全でクリーンな搬送を可能にします。次の 3 つのスタイルを利用できます。

  • カセット移載アームを備えるカセット バッファ ロード ステーション
  • 人間工学を考慮したチルト式プラットフォームとびカセット ガイド
  • カセット移載アーム台

VCE 6 真空カセット エレベータのロード ロックは、特定のウエハー製造環境に適したコスト効率の高い、最新鋭の工場向けインターフェイスを提供します。10-6 レベルの高度な真空環境から大気圧を少し上回る環境までの完全な隔離環境でのきわめて高いクリーン度と信頼性の高い運用を考慮して設計されています。

特徴

  • 自動的に作動するドア
  • 隔離されたドライブ メカニズム
  • 平らなクリーン ルームのウォール インターフェイス用に設定されているチャンバー
  • カセット内のウエハーの位置、カセットから突出しているウエハー、プラットフォーム上のカセットなどを感知する内臓された高度なセンシング機能
  • CE/S2 準拠