Marathon™ Express 真空搬送システム

Brooks は、Brooks のクラス最高のソリューションを差別化する基板搬送、制御された環境での優れたエンジニアリング能力と革新を蓄積することで、真空搬送システムにおけるリーダーとしての地位を確立しました。Brooks の先進的な真空ウエハー搬送テクノロジーは、半導体ウエハー加工やその他の複雑な製造環境でのツール自動化アプリケーションに最適です。Brooks では、特定の製造環境とプロセス要件を満たす 100 ~ 450 mm ウエハー搬送向けの多数の設定で使用できる幅広いシステムを提供しています。

Marathon™ Express は、モジュール型で設定可能な真空搬送システム (VTS) であり、100 mm、125 mm、150 mm、および 200 mm サイズのウエハーのアプリケーションで優れた真空性能およびハイ スループットを実現するように最適化されています。そのモジュール アーキテクチャと、4、6、7、および 8 面バージョンを利用できることで、Marathon Express は幅広いプロセス アプリケーションのさなざまなニーズを満たすように調整することができます。

この高性能真空搬送システムは、PVD、CVD、エッチング、MR ヘッド デポジション、MEMS だけではなく、複合的な半導体アプリケーションにも最適です。

特徴

  • 最小限のハードウェアの変更で 100 ~ 200 mm サイズのウエハー用に再構成できる
  • 10M+ MCBF MagnaTran Radius ロボット
  • 25または26枚ウエハーカセット用の現場で実績のあるVCE6インデクシング真空ロードロックは、4種類のファクトリーインターフェースをオプションとして準備しております。
  • 3 ~ 8 レンジ (torr) のベースプレッシャーにすぐに利用できる真空設定
  • 第 5 世代の電源および通信システム
  • 組み込みのハードウェアおよびセーフティ インターロック
  • CE、S2、およびその他すべての関連する業界標準に準拠