Marathon™ 2 搬送システム

Brooks は、Brooks のクラス最高のソリューションを差別化する基板搬送、制御された環境での優れたエンジニアリング能力と革新を蓄積することで、真空搬送システムにおけるリーダーとしての地位を確立しました。Brooks の先進的な真空ウエハー搬送テクノロジーは、半導体ウエハー加工やその他の複雑な製造環境でのツール自動化アプリケーションに最適です。Brooks では、特定の製造環境とプロセス要件を満たす 100 ~ 450 mm ウエハー搬送向けの多数の設定で使用できる幅広いシステムを提供しています。

Brooks の統合されたモジュール型真空搬送システム (VTS) である Marathon 2 製品群では、性能および収益性が向上しています。300 mm および 450 mm ウエハー製造専用に設計されている Marathon 2 システムは、MagnaTran ロボットの実績ある信頼性と、OEM の信頼性と性能を最適化するクラスタ ツール テクノロジーにおける最新の革新を兼ね備えていると同時に、エンド ユーザーの低い所有コストを実現します。

特徴

  • 10M+ MCBF MagnaTran Radius ロボット
  • Speed Lock™ ハイ スループット スタック型ロード ロック
  • CenterSmart™ 自動ウエハー センタリング
  • 第 5 世代の電源および通信システム
  • 組み込みのハードウェアおよびセーフティ インターロック
  • Insight™ 可視化された搬送チャンバーの蓋からウエハーを目視で監視可能
  • CE、S2、およびその他すべての関連する業界標準に準拠