Spartan™ 大気搬送システム EFEMs

従来の "ボックス スタイル" の Equipment Front End Module (EFEM) は、複雑なツール フロントエンドを形成するために、複数の既製コンポーネント (大気ウエハー ハンドリング ロボット、ロード ポート、ウエハー ID と Auto-ID、ミニエンバイロメント、制御ソフトウェアなど) をかなりの労力と時間をかけて統合して、構成されます。そのため、必然的に、相互運用性、障害検出とその処理、およびサプライヤ アカウンタビリティの問題がよく発生します。

このような複雑さと課題を認識している Brooks では、Spartan™ EFEM により装置メーカーおよびチップメーカーに、真に高性能な大気機器フロントエンド ソリューションを提供します。シンプルかつ統一された設計の Spartan EFEM では、スループットとパーティクル性能が向上し、クリーンルーム スペースが最適化され、所有コスト (COO) が削減されます。

Spartan EFEM の利点

  • 実績あるテクノロジーを使用したシンプルな設計でスループットと信頼性の向上を実現
  • ISO クラス 1 を上回るパーティクル性能
  • 統合された設計でセットアップと導入が容易で、ツールの認定が迅速
  • フロント マウント アクセスで、保守がすばやく、簡単

Spartan EFEM は、業界をリードするハイ スループットの 300 mm フロントエンド自動化ソリューションです。Spartan EFEM のモジュール設計では、当初から、独自の多様な OEM アプリケーションに適応させることができる柔軟性を提供します。

Spartan EFEM のコアは、すべてのウエハー ハンドリング コンポーネントとその動きを参照する一元的なデータ構造にあります。この単一の参照標準により、アライメントとセットアップが簡単で、4 つのロードポート構成まで拡張できます。SEMI 標準に完全準拠の Spartan EFEM では、柔軟な範囲のアプリケーションに利用可能で、保守や COO を合理化します。

最大の生産性と収益性

  • ISO クラス 1 の性能を上回る優れたクリーン度を実現する最適化されたミニエンバイロメントを備えています。
  • デュアル、超薄型エッジ グリップ ウエハー ハンドリングにより、最も要求の厳しいアプリケーションでの迅速な動作を実現します。
  • 柔軟性のある、設定可能な設計と先進的なソフトウェアのサポートによりインテグレーション、保守および管理が容易です。

Spartan EFEM は、機能的に同等のシステムよりも小型かつ軽量で、信頼性が高いうえに、それほど複雑ではなく、300 mm の自動化工場へより簡単に導入可能で、省エネ効率も高いです。業界をリードするパーティクル性能と、高い信頼性、運用性および保守性によって促進される低減された COO と合わせて、Spartan EFEM は市場で入手可能な最も強力な EFEM であると Crossing Automation は確信しています。