Spartan™ 450 mm 開発プラットフォーム (Spartan 450-DP)

新しい Spartan™ 450 mm 開発プラットフォームにより、OEM (Original Equipment Manufactures)装置メーカー) がウエハーをプロセス チャンバーに確実に出し入れできるフットプリントの小さいかつ低コストな独自のシステムです。このシングル FOUP EFEM によりプラットフォーム開発の設計に時間をかける必要がなくなり、OEM による 450 mm の開発作業が迅速化します。この高度にスケーラブルなプラットフォームでは、ソフトウェアおよびハードウェアのインターフェイスの変更がなく、OEM は簡単に大量生産に移行することができます。

特徴

  • 生産現場で実績のある 300 mm コンポーネントを 450 mm Certon™ ロード ポートに取り入れました。
  • スケールアップされたSpartan™ EFEM のウエハー エンジンをインストールされたロードポート
  • オプションのプリアライナー
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省スペース

  • 幅: 1.4 m
    奥行き: 1.4 m