Jet™ 大気搬送システム

Brooks では、半導体ウエハー加工やその他の複雑な製造環境に必要な高性能、きわめて高いクリーン度、および実績ある信頼性を継続的に提供します。Brooks の EFEM は、メーカーの機器やプロセスとの業界をリードする相互運用性を実現するために、最も厳しい工場の条件で徹底的に試験されています。

また、Brooks の大気系統は、高度に設定可能で、幅広い既製のオプションを備えており、アプリケーション固有のニーズに合わせて簡単に調整して、急速に変わっていく業界の要件に対応することができます。

すべての Brooks ウエハー ハンドリング システムの中核をなす大気自動化サブシステムである Jet は、お客様が共通のコアに基づいてプロセス ツールを構築できるようシステム レベルで設計された最初の EFEM です。Jet は、高速セットアップ、サイクルタイムの短縮、および既存の工場の機器やプロセスとのシームレスな統合を可能にするために、業界標準に基づく柔軟なモジュール アーキテクチャを備えています。Brooks の Jet 製品群は、現在の半導体メーカーが期待し、要求する、高性能、きわめて高いクリーン度、実績ある信頼性を提供します。

革新的なアプローチで半導体ウエハー ハンドリングに取り組むことができます。

特徴

  • Crate-to-Operate™ により 1 時間未満で簡単にセットアップおよびインテグレーション可能
  • 高さおよびレベル調整を一度で済ませる機能を備えたキネマティック マウント システム
  • Brooks の特許取得済みのダイレクト ドライブ テクノロジーおよびモーション コントロールの専門知識
  • 最終工程で設定可能なオプションの準備
  • 統一規格のスペア セットで複数のツール間での部品交換が容易
  • 2、3、および 4 ポート仕様から選択可能