MagnaTran® 8 Radius 真空ロボット

積載量が大きく、コンテインメントが小さいアプリケーション向けの高速ウエハー切り替え真空ロボット

デュアル アーム MagnaTran® 8 Radius™ ロボットは、MagnaTran の現場で実証済みのダイレクト ドライブ テクノロジーのメリットを 3 軸ドライブにも活用しています。また、MagnaTran は小型コンテインメント直径内で 4 秒以下で迅速に切り替えを行う実績ある SCARA テクノロジーを採用しています。3 軸ドライブおよびアームはどちらも、より大きな積載量に対応できるように設計されています。

ダイレクト磁気ドライブ テクノロジーでは、部品数が減り、真空絶縁用の運動用シールが不要になるため、信頼性が向上します。運動用シールを除去すると、摩擦、摩耗、裂け、ねじれが減るため、不良の発生が減ります。ステッピング モータまたはトランスミッション カップリング メカニズムあるいはその両方により、振動、パーティクル、バックラッシュを低減し、ポジションの再現性を向上させることができます。

高速切り替えアーム、Time Optimal Trajectory™、連続回転機能およびダイレクト ドライブ サーボを Brooks 独自の DSP コントローラと併用することで、スループットが向上します。

特徴

  • 運動用シール、ドライブ ベルトやケーブルのない大容量ダイレクト ドライブ テクノロジー
  • 1,280 万 MCBF を超える実績ある信頼性
  • ドライブから最大 15 フィート (約 4.57 m) 離れた位置に設置可能なエンクロージャ内に配置されたコントロール
  • 特許取得済み Time Optimal Trajectory®
  • ユーザーがプログラムできるロボット アクセス ゾーン
  • CE および SEMI S2 に準拠
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利点

  • 高いリーチ/コンテインメント率
  • 迅速な切り替え
  • 高い最大積載量
  • 低い所有コスト
  • UHV 互換
  • ウエハーおよび機器の安全性
  • グローバルなサービス組織
  • 国際的な設計標準および業界の安全標準に適合

ユーザーがプログラム可能な安全ゾーンは、手動運転中に発生する可能性のある衝突を回避することで価値の高いウエハーおよびプロセス機器の安全性を保証できます。モデム接続されているリモートのサービス端末から GUI を使用して包括的な診断を行うことができます。イベントに関するエラー ログは、日付と時刻が記録されています。

サイクル カウンタは、不揮発性メモリ内に格納され、重要な性能特性をグラフィカルに監視およびレポートできます。マルチ センサ インターフェイスは、基板センサやバルブなどの他の周辺モジュールとの直接的なやり取りを可能にする高速 PIO によって実現します。リアルタイムの情報を使用して、可動コンポーネントのエッジ感知でポジショニングを確認できます。安全のためのウエハーの有無の確認は、マクロ シーケンスで行うことができます。