MagnaTran® 8 QuadraFly 真空ロボット

ハイ スループットの小型コンテインメント アプリケーションで 4 枚のウエハーを真空で同時に交換

MagnaTran®8 QuadraFly ロボットは、実績ある SCARA アーム テクノロジーと信頼性の高いダイレクト ドライブ ロボットを活用して、小型コンテインメントのスイング直径内で 4 枚のウエハーを真空で同時に交換できます。また、QuadraFly ロボットでは、MagnaTran® 8 の現場で実証済みのダイレクト ドライブ テクノロジーのメリットを特許取得済みの 3 軸ドライブにも活用しています。3 軸ドライブおよび QuadraFly Butterfly アームセットはどちらも、より多い積載量に対応するように設計されています。

ダイレクト磁気ドライブ テクノロジーでは、部品数を削減し、真空絶縁用の運動用シールを不要にすることで、信頼性を向上します。運動用シールが排除されると、摩擦、摩耗、裂け、ねじれが減るため、不良の発生が減ります。ステッピング モータまたはトランスミッション カップリング メカニズムあるいはその両方で、振動、パーティクル、バックラッシュが低減し、ポジションの再現性が向上します。

特徴

  • 4 つのエンド エフェクタによる真空での 4 枚同時のウエハー搬送
  • 運動用シール、タイミング ベルトやケーブルのない大容量ダイレクト ドライブ テクノロジー
  • 1,280 万 MCBF を上回る実績ある信頼性
  • 特許取得済みの Time Optimal Trajectory™ モーション コントロール
  • ドライブから最大 15 フィート (約 4.57 m) 離れた場所にある外部コントロール
  • ユーザーがプログラム可能なロボット アクセス ゾーン
  • CE および SEMI S2 に準拠
  • 450 mm に対応
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利点

  • スループットおよび時間あたりのツールのウエハーの生産性を向上できる
  • 高い最大積載量
  • 低い所有コスト
  • UHV 互換
  • ウエハーおよび機器の安全性
  • グローバルなサービス提供
  • 国際的な設計標準および業界の安全標準に適合

QuadraFly ロボットの高速切り替えアームセット、Time Optimal Trajectory™、連続回転機能、ダイレクト ドライブ サーボを Brooks 独自の DSP コントローラと併用することで、より高いスループットを提供し、生産性の向上を実現します。

ユーザーがプログラム可能な安全ゾーンは、手動運転中に発生する可能性のある衝突を回避することで価値の高いウエハーおよびプロセス機器の安全性を保証できます。モデム接続されているリモートのサービス端末から GUI を使用して包括的な診断を行うことができます。イベントに関するエラー ログは、日付と時刻が記録されています。サイクル カウンタは不揮発性メモリ内に格納され、重要な性能特性をグラフィカルに監視およびレポートできます。マルチ センサのインターフェイスは、基板センサ、バルブ、その他の周辺モジュールに対する直接的なインターフェイスを可能にする高速デジタル IO によって実現されます。リアルタイムの情報を使用して、可動コンポーネントのエッジ感知でポジショニングを確認できます。安全のためのウエハーの有無の確認は、マクロ シーケンスで行うことができます。