MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 真空ロボット

真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット

MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) ロボットは MagnaTran 製品群のすべての機能と利点を保有し、要求の厳しいクラスタツールアプリケーションにおいて最高のスループットの提供が可能です。

Time Optimal Trajectory™ アルゴリズムの使用で、きわめて高いスループットを実現します。連続回転機能で 180 度を超える動作が不要になります。また、ダイレクト ドライブ サーボおよび独自の DSP コントローラで振動を最小限に抑えます。特許取得済みの Leapfrog® アームでは、ウエハーの交換やバッファリングを行うことができます。

特徴

  • スループットのきわめて高い MagnaTran 7 ロボット
  • 300 mm までのサイズのウエハーを処理
  • 運動用シール、ドライブ ベルト、またはケーブルのないコンパクトなダイレクト ドライブ テクノロジー
  • 1,100 万 MCBF を超える実績ある信頼性
  • 一体型マウントの DSP ベースの制御電子回路
  • 高度なファームウェアによりローカルおよびリモートでの監視および診断が可能
  • CE および SEMI S2 に準拠
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利点

  • 最先端のクラスタ ツールに対応
  • きわめて高いスループット
  • VHV 互換
  • 低い所有コスト
  • 最高の動作速度
  • グローバルなサービス提供
  • 停電からの安全な回復

クラス最高の MagnaTran テクノロジーにはダイレクト磁気ドライブが装備されています。摩擦、摩耗、裂け、ねじれが減るため、不良の発生が削減されます。また、振動やパーティクルも最小限に抑えられます。この設計により、エッジ コンタクトなしで高精度のポジショニングを行うことができます。リップ シールまたは磁性流体シールがないことで、真空性能が向上するだけでなく、搬送チャンバに水が侵入することがなく、PVD フィルムの蒸着が促進されます。現場で実証済みの一体型制御電子回路では、省スペースであるだけでなく、電子干渉の影響をあまり受けず、パッケージの小型化と高い信頼性が実現します。

モデム接続されているリモートのサービス端末からグラフィック インターフェイスを使用して包括的な診断を行うことができます。表示追跡ユーティリティでは、エンド エフェクタにプログラムされている加速度と実際の加速度を監視できます。以前のイベントに関するエラー ログは、日付と時刻が記録されています。サイクル カウンタは不揮発性メモリ内で機能します。つまり、重要な性能特性をグラフィカルに監視することができます。

高速デジタル IO を使用するマルチ センサ インターフェイスにより、基板センサやバルブなどの他の周辺モジュールに対する直接的なインターフェイスが可能になります。リアルタイムの情報を使用して、可動コンポーネントのエッジ感知により、ポジショニングを確認できます。ユーザー指定のラジアル位置での動的感知により、Leapfrog アームで独立したウエハー感知を行うことができます。PASIV™ 安全機能 (プログラム可能アクセス セイフティ対象ボリューム) では、ユーザーがプログラム可能なアクセス ゾーンを提供し、手動運転中に発生する可能性のある衝突を回避することで価値の高いウエハーおよびプロセス機器の高度な安全性を保証します。