MagnaTran® 7 Frogleg™ (MAG 7 F) 真空ロボット

真空クラスタ ツール アプリケーション向けウエハー搬送ロボット

MagnaTran® 7 Frogleg™ (MAG 7 F) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。

可動部品を最小限に抑えたシンプルな設計です。ダイレクト磁気ドライブには運動用真空シールがなく、摩擦および摩耗が減るため、不良の発生が減ります。ステッピング モータをなくすことで、振動、パーティクルが削減され、エッジ コンタクトなしでの高精度のポジショニングが実現します。現場で実証済みの一体型電子回路は、省スペースであるだけでなく、電子干渉の影響をあまり受けず、高い信頼性をもたらします。

特徴

  • 300 mm までのサイズのウエハーおよび規格外の基板を処理
  • 特許取得済みの Frogleg™ アーム 
  • 1,100 万 MCBF を超える実績ある信頼性
  • 特許取得済みの Time Optimal Trajectory™
  • ワークスペースのアクセス ゾーンをユーザーがプログラム可能
  • 外部感知による自動ウエハー センタリング
  • CE および SEMI S2 に準拠
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利点

  • 最先端のクラスタ ツールに対応
  • ハイ スループット
  • 省スペース
  • VHV 互換
  • 低い所有コスト
  • 最高の動作速度
  • グローバルなサービス提供
  • ウエハーおよび機器の安全性
  • 生産性向上のためのアップグレードが容易

S 字カーブ プロファイルよりも 15 〜 30% 高速の搬送速度をもたらす Time Optimal Trajectory™ の使用で、きわめて高いスループットが実現します。連続回転機能では、180 度を超える動作が不要になり、Brooks 独自の DSP コントローラとダイレクト ドライブ サーボで振動を最小限に抑えます。

ワークスペースのユーザーがプログラム可能な安全ゾーンは、手動運転中に発生する可能性のある衝突を回避することで価値の高いウエハーおよびプロセス機器の安全性を保証できます。 モデム接続されているリモートのサービス端末からグラフィック インターフェイスを使用して包括的な診断を行うことができます。以前のイベントに関するエラー ログは、日付と時刻が記録されています。サイクル カウンタは不揮発性メモリに格納され、重要な性能特性をグラフィカルに監視できます。マルチ センサ インターフェイスは、基板センサやバルブなどの他の周辺モジュールとの直接的なやり取りを可能にする高速デジタル IO によって実現します。リアルタイムの情報を使用して、可動コンポーネントのエッジ感知でポジショニングを確認できます。安全のためのウエハーの有無の確認は、マクロ シーケンスで行うことができます。