MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) 真空ロボット

真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット

MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) ロボットには MagnaTran 製品群のすべての技術的利点が含まれ、1,100 万を上回る MCBF (Mean Cycle Between Failure) が実証されています。

シンプルな設計で可動部品を最小限に抑えています。ダイレクト磁気ドライブには運動用真空シールがなく、摩擦、摩耗、裂け、ねじれが減るため、不良の発生が削減されます。ステッピング モータをなくすことで、振動、パーティクルを削減し、エッジ コンタクトなしで高精度のポジショニングを行うことができます。現場で実証済みの一体型制御電子回路は、省スペースであるだけでなく、電子干渉の影響をあまり受けないため、信頼性が向上します。

特徴

  • 300 mm までのサイズのウエハーを処理
  • デュアル エンド エフェクタを備える特許取得済みの BiSymmetrik アーム
  • 運動用シール、ドライブ ベルト、またはケーブルのないコンパクトなダイレクト ドライブ テクノロジー
  • 一体型マウントの DSP ベースの制御電子回路
  • 特許取得済みの Time Optimal Trajectory
  • 高度なファームウェアによりローカルおよびリモートでの監視および診断が可能
  • CE および SEMI S2 に準拠
spacer10

利点

  • 最先端のクラスタ ツールに対応
  • 高スループット
  • 省スペース
  • VHV 互換
  • 低い所有コスト
  • 最高の動作速度
  • グローバルなサービス提供
  • 停電からの安全な回復

S 字カーブ プロファイルよりも 15 〜 30% 高速の搬送速度をもたらす Time Optimal Trajectory™ の使用で、きわめて高いスループットが実現します。連続回転機能で 180 度を超える動作が不要になり、 Brooks 独自の DSP コントローラとダイレクト ドライブ サーボで振動を最小限に抑えます。MAG 7 B ロボットの特許取得済みの BiSymmetrik アームでは、ウエハーの交換やバッファリングを行うことができます。

ユーザーがプログラムできる安全ゾーンである PASIV™ により、手動運転中に発生する可能性のある衝突を回避することで価値の高いウエハーおよびプロセス機器の安全性を保証できます。モデム接続されているリモートのサービス端末からグラフィック インターフェイスを使用して包括的な診断を行うことができます。以前のイベントに関するエラー ログは、日付と時刻が記録されています。サイクル カウンタは不揮発性メモリに格納され、重要な性能特性をグラフィカルに監視できます。マルチセンサ インターフェイスは、基板センサやバルブなどの他の周辺モジュールとの直接的なやり取りを可能にする高速デジタル IO によって実現します。