真空ロボット MagnaTran® 製品群

ブルックスオートメーションは、真空隔離環境で操作するための、業界で最も先進的で信頼性の高いロボットを提供しています。真空ロボットの自動化のための業界標準を設定し、ロボットのブルックス「MagnaTranファミリは、比類のない清潔さ、再現性とスループットを実現します。半導体ウエハ加工やその他の複雑な製造環境でのツール自動化のために特別に設計されたこれらの最先端の真空ロボットは、その自動化プラットフォームに実績のある信頼性とパフォーマンスを構築するためのOEMを有効にしてください。