InLigner™

Brooks は、フラット パネル ディスプレイの製造、およびその他の複雑な製造環境向けの半導体ウエハー処理向けの真空ハンドリング ロボットおよびモジュールの生産におけるグローバル リーダーです。Brooks は、当社の最高クラスの製品を差別化し、スループット、信頼性、保守性において大きなメリットを提供する優れた知的財産を蓄積することにより、テクノロジーと市場のリーダーとしての地位を獲得しました。Brooks の現場で実証済みのウエハー搬送ロボットやモジュールは、今日のメーカーが効率的な製造を行い、革新を迅速化し、利益創出を促進できる高い性能と所有コストを提供します。

Brooks InLigner は MagnaTran ロボットと連携し、ノッチまたはフラット エッジ基準のいずれかを使用して、100 ~ 200 mm SEMI 標準と JEIDA 規格のウエハーのウエハー センタリングを行い、エッジ基準の向きを指定します。また、最大 6 インチ平方の石英マスクを含む透明または正方形、あるいはその両方の基板で使用する特殊な設定も利用できます。プロセス モジュール用の搬送チャンバのファセットを最大限使用するために、InLigner は、ロード ロックと搬送チャンバの間にマウントされ、ロックのウエハーにアクセスできます。

現場で実証済みの InLigner により高精度の性能と最適な柔軟性が提供されます。

特徴

  • MagnaTran 7 ロボットと直接連携し、真空外囲器内で向きを指定し、センタリングを実行
  • プロセス モジュール向けのファセットの可用性を最大化するために、ロード ロックに合わせてマウント
  • 透明または正方形、あるいはその両方の基板向けの機能を提供
  • CE/S2 準拠