Fusion™コントロールズ

Brooks 大気ロボットおよびモジュールは、半導体のマテリアル ハンドリング アプリケーション用のプロセス機器およびクラスタ ツール フロント エンドでの高性能なウエハー ハンドリング ソリューションに欠かせない製品です。高水準の技術と性能を保証するBrooks製品は、装置の精度を高めると同時に、インスタレーションおよびセットアップを迅速化できる最先端のロボット ソリューションを提供します。業界をリードする複数の世代のオートメーションの標準を活用する Brooks の大気ロボットやモジュールでは、今日の先進的な製造プロセスに必要なスループット、再現性、およびクリーン度を最適な組み合わせで提供します。

Brooks の革新的な Fusion 制御プラットフォームは、業界で最も柔軟かつ完全な自動化制御ソリューションです。完全にカスタマイズ可能で、きわめて使いやすい Fusion 制御では、最大の性能と稼働時間をもたらすと同時に、市場投入までの時間を短縮し、ツールの収益性を向上します。

主な機能とメリット

  • 特許取得済みのモーション コントロール テクノロジーで優れた精度と性能を実現
  • モーションのすべての軸をリアルタイムに同期および調整するための拡張可能な、高速のモーション コントロール ネットワーク
  • 工場およびツール固有のカスタマイズと拡張のための高度に設定可能なソフトウェア
  • 直感的なグラフィカル インターフェイスでより迅速で簡単に、設定、統合、運用、および保守を実現
  • 離れた場所からでも効率的にトラブルシューティングを行うための可視化およびエミュレーション機能

データ シート