Yaskawa (YEC) MR124 大気ロボット

Yaskawa (YEC) MR124 大気ロボットは、特にエッジ グリップによる処理が必要な小型EFEM に最適なソリューションです。YEC SemiStar 製品は、半導体業界の EFEM ソリューションの標準であり、Brooks Automation 大気ロボット ポートフォリオの主要な製品です。

高スループット且つ、広い可動域を実現

YEC は、モーション コントロールやロボット工学の実績が豊富で、すべてのロボットで使用されるモータ、エンコーダおよびモーション コントロールで他社にはない Yaskawa Sigma™ シリーズのテクノロジーを活用しています。数十年のロボット開発および数万のロボットの運用を通じて、YEC は世界的に名高いドライブ テクノロジーを継続的に強化、改良しています。この確立されたテクノロジーにより、高い信頼性を実現し、大幅に所有コストを削減します。

主要機能・特徴

  • 300 mm、200 mm、およびレチクルに対応。さまざまなウエハー サイズへの変更が容易
  • 5 軸モーション (R, B1, B2, Theta, Z)。迅速なウエハーの入れ換えが可能
  • Sigma technology :高い信頼性と実績のあるモータ テクノロジー
  • 一体型のバッテリ バックアップを備えるアブソリュート エンコーダ。起動時のホーミングなしで、迅速で信頼性の高い安全なポジショニングが可能
  • 2 トラック長を含む幅広いオプション。3 または 4 ロード ポート EEM applications に最適
  • ワールドワイドなサポート。24 時間 365 日 ワールドワイドでの製品サポートを提供

MR124 は、迅速なウエハー切り替え機能を必要とする 2 ロード ポート アプリケーションに最適なシングル アーム装備のデュアル ヨー ロボットです。2 つの 300 mm ロード ポートへのオフアクシス アクセスでリニア トラックが不要になります。また、MR124 はオフアクシス アクセスが EFEM に垂直な方向に到達するアプリケーション向けにトラック マウントすることもできます。3 および 4 ロード ポート幅のトラックを利用できます。

すべての軸上のアブソリュート エンコーダにより、優れた安全性、精度、再現性が実現します。一体型のバッテリ バックアップで起動時に迅速で信頼性の高い、安全な位置決めを行うことができます。

さまざまなオプションにより、自動化システムをアプリケーションごとに設定できます。M122 ロボットは全通ビーム ウエハー マッピング機能の有無にかかわらず、真空グリップおよびエッジ グリップ アプリケーション向けの標準のソリューションを装備しており、カスタム ソリューションまたは顧客提供のソリューションをサポートすることができます。また、エッジ グリップと真空グリップ用ウエハー アライナーを利用して、自動化システムを補完することができます。一部のアライナーの設計では、2 つのウエハー サイズを処理することができます。