Yaskawa (YEC) M201 大気ロボット

Yaskawa (YEC) M201 は、特に、リニア モータ トラック オプションと組み合わせると効率性が高く、迅速に切り替えを行うことのできる大気ロボットです。YEC SemiStar ロボット製品は、半導体業界の EFEM ソリューションの標準であり、Brooks Automation 大気ロボット ポートフォリオの主要な製品です。

高スループット且つ、様々な運用に柔軟に対応可能な ダブルアームロボット

YEC は、モーション コントロールやロボット工学の実績が豊富で、すべてのロボットで使用されるモータ、エンコーダおよびモーション コントロールで他社にはない Yaskawa Sigma™ シリーズのテクノロジーを活用しています。数十年のロボット開発および数万のロボットの運用を通じて、YEC は世界的に名高いドライブ テクノロジーを継続的に強化、改良しています。この確立されたテクノロジーにより、高い信頼性を実現し、大幅に所有コストを削減します。

主要機能・特徴

  • 300 mm、200 mm、およびレチクルに対応。さまざまなウエハー サイズへの変更が容易
  • デュアル アーム 4 軸モーション (R1, R2, Theta, Z) 。迅速なウエハーの切り替えが可能
  • Sigma technology :高い信頼性と実績のあるモータ テクノロジー
  • 一体型のバッテリ バックアップを備えるアブソリュート エンコーダ。起動時のホーミングなしで、迅速で信頼性の高い安全なポジショニングが可能
  • 2 トラック長を含む幅広いオプション。3 または 4 ロード ポート EEM applications に最適
  • ワールドワイドなサポート。24 時間 365 日 ワールドワイドでの製品サポートを提供

M201 は、300 mm 以下のサイズのウエハーを迅速に切り替えることができるように設計された高性能デュアル アーム ロボットです。リニア トラックと組み合わせると、M201 はスループットの高い 3 および 4 ロード ポート EFEM アプリケーションに最適です。1010​​ mm トラックは 3 つの 300 mm ロード ポートに到達しますが、4 つの 300 mm ロード ポート用に設計されている 1515 mm トラックは、高いウエハー搬送速度を維持できるようにモータ速度を高めるドライバを備えています。M201 は、トラックなしで、ラジアル モーションを使用して 1 つのロード ポートに到達し、マングース モーションで 2 つのロード ポートに到達することができます。

すべての軸上のアブソリュート エンコーダにより、優れた安全性、精度、再現性が実現します。一体型のバッテリ バックアップで起動時に迅速で信頼性の高い、安全な位置決めを行うことができます。

さまざまなオプションにより、自動化システムをアプリケーションごとに設定できます。M201 ロボットは全通ビーム ウエハー マッピング機能の有無にかかわらず、真空グリップおよびエッジ グリップ アプリケーション向けの標準のソリューションを装備しており、カスタム ソリューションまたは顧客が提供するソリューションをサポートすることができます。さまざまなウエハー アライナーを利用して、自動化システムを補完することができます。

M201+ は M201 のバリエーションです。より長い Z 軸ストロークとより高いペイロードの両方を提供します。ペイロード容量は M201 の 2 倍であるため、 M201+ はバッチ エンド エフェクタの要件に最適です。