Reliance ATR ロボット

Reliance ATR ロボットは、今日の最先端の半導体製造事業に必要な優れた性能、信頼性、およびきわめて高度なクリーン度を提供します。Reliance ATR ロボットは、ダイレクト ドライブ テクノロジーや DSP ベースの制御電子回路を活用しています。

Brooks 大気ロボットおよびモジュールは、半導体のマテリアル ハンドリング アプリケーション用のプロセス機器およびクラスタ ツール フロント エンドでの高性能な大気ウエハー ハンドリング ソリューションに欠かせない製品です。テクノロジーと性能のリーダーである Brooks では、ツールの精度を高めると同時に、インスタレーションやセットアップを迅速化できる最先端のロボット ソリューションを提供します。業界をリードする複数の世代のオートメーションの標準を活用し、Brooks の大気ロボットやモジュールでは、今日の先進的な製造プロセスに必要なスループット、再現性、およびクリーン度の最適な組み合わせを提供します。

特徴

  • 最高 12.8M MCBF を実現する高い信頼性
  • ダイレクト ドライブ テクノロジー
  • 特許取得済み Time Optimal Trajectory™ および Time Optimal Path™ といった搬送制御は、従来の S 字カーブアルゴリズムと比較し、最高 20% のスピード向上を実現
  • 3 または 4 軸のオプション
  • 高スループット、高いクリーン度、反りのあるウエハーの処理をはじめとする、ウエハー/基板のハンドリング に幅広く対応
  • アライナーのオプション
  • 標準および高荷重のオプション
  • SEMI およびその他の業界基準に準拠