カミソリ™大気搬送ロボット&モジュール

Brooks 大気ロボットおよびモジュールは、半導体のマテリアル ハンドリング アプリケーション用のプロセス機器およびクラスタ ツール フロント エンドでの高性能な大気ウエハー ハンドリング ソリューションに欠かせない製品です。テクノロジーと性能のリーダーである Brooks では、ツールの精度を高めると同時に、各ツールの出荷時の設置とセットアップを迅速化できる最先端のロボット ソリューションを提供します。複数の世代の業界をリードするオートメーション規格を活用しています。

データ シート レイザーファミリーパンフレット

Razor ロボットでは、今日の最先端の半導体製造事業に必要な優れた性能、信頼性、およびきわめて高度なクリーン度を提供します。Brooks キネマティック マウント システム、特許取得済みのモーション コントロール テクノロジー、および信頼性の高いダイレクト ドライブ ロボットにより、すばやくセットアップし、高い再現性、および最大の稼働時間を実現します。さらに、Razor ロボットは、3-FOUP 無軌道ロボットで 3 つではなく 2 つのリンクを使用する合理化された効率性の高いアーム アーキテクチャを備えており、24 時間 365 日体制の大量生産向けの生産環境でも、信頼性の高い性能を提供します。

大気搬送ロボットで最先端の環境を維持し、以下を実現します。

  • 独自のモーション コントロール アルゴリズムである Time Optimized Trajectory および Time Optimal Path で、モーション プロファイルを最適化し、最大のスループットを実現
  • ハイ スループット、高いクリーン度、パッシブ エッジ コンタクト ソリューションを含む精選されたウエハー ハンドリング テクノロジーをサポート
  • 第 5 世代のダイレクト ドライブ テクノロジーで、部品数を最小限に抑え、製品寿命を延ばし、振動を大幅に低減
  • とても柔軟な設計のモーション コントロール ソリューションである Fusion 制御を搭載
  • オプションのキネマティック マウント システムは 高さ、水平度の調整の簡易化に貢献します

Brooks 大気ロボットおよびモジュールは、半導体のマテリアル ハンドリング アプリケーション用のプロセス機器およびクラスタ ツール フロント エンドでの高性能な大気ウエハー ハンドリング ソリューションに欠かせない製品です。テクノロジーと性能のリーダーである Brooks では、ツールの精度を高めると同時に、インスタレーションやセットアップを迅速化できる最先端のロボット ソリューションを提供します。業界をリードする複数の世代のオートメーションの標準を活用し、Brooks の大気ロボットやモジュールでは、今日の先進的な製造プロセスに必要なスループット、再現性、およびクリーン度の最適な組み合わせを提供します。

Razor トラバーサの高速水平移動機構を活用することで、 Razor ロボットでは、複数のプロセス ツール、ロード ポート、カセット ステージンにアクセスできます。Razor トラバーサは、優れた信頼性と円滑なモーション コントロールによって、振動と発塵を最低限に抑える特許取得済みの Brooks ダイレクト ドライブ テクノロジーを採用しています。同時に、他の高性能 Razor モジュールとの連携を考慮して設計されており、高速で動作します。

すべての Razor 製品と同様に、トラバーサは Fusion™ 制御自動化制御ソリューションを利用し、さまざまなツール アプリケーションの要件を満たすように簡単に設定できます。

特徴

  • MCBF=1000万 を実現する高い信頼性
  • 第 5 世代のダイレクト ドライブ テクノロジー
  • 特許取得済みのモーション コントロール アルゴリズムで振動を低減
  • パッケージされているテンプレートで迅速なツール設定が可能
  • SEMI およびその他の業界基準に準拠