Razor™
大気アライナー

Brooks 大気ロボットおよびモジュールは、半導体のマテリアル ハンドリング アプリケーション用のプロセス機器およびクラスタ ツール フロント エンドでの高性能なウエハー ハンドリング ソリューションに欠かせない製品です。高水準の技術と性能を保証するBrooks製品は、装置の精度を高めると同時に、インスタレーションおよびセットアップを迅速化できる最先端のロボット ソリューションを提供します。業界をリードする複数の世代のオートメーションの標準を活用する Brooks の大気ロボットやモジュールでは、今日の先進的な製造プロセスに必要なスループット、再現性、およびクリーン度を最適な組み合わせで提供します。

高性能大気 Razor アライナーでは、200 mm、300 mm、450 mm ウエハーの高精度のウエハー位置決め機能を提供します。高精度に設計・製造された Razor アライナーおよび Razor モジュールは、品質が高く、簡単に装置にインテグレートが可能なため、リード タイムの短縮にも大きく貢献致します。すべての Razor 製品と同様に、アライナーは Fusion™ 制御自動化制御ソリューションを利用し、さまざまなツール アプリケーションの要件を満たすように簡単に設定できます。

Razor アライナーでは、優れたスループット、再現性、クリーン度を提供します。

特徴

  • MCBF=1000万 を実現する高い信頼性
  • シングル エンド エフェクタ ソリューションでスループットを向上させるバッファ
  • グリップではなく、パッシブなエッジ コンタクトで最大限のクリーン度とウエハーの保護を実現
  • 特許取得済みのモーション コントロール アルゴリズムとダイレクト ドライブで振動を低減
  • SEMI およびその他の業界基準に準拠