ウエハー ハンドリング ロボット

ブルックスオートメーションは、拡張ISOクラス1クリーンルームアプリケーションで業界をリードする半導体ウェーハハンドリングロボットのフルラインを提供しています。柔軟なエンドエフェクタ、アライナーとペイロードのオプションの包括的なポートフォリオと一緒に非常に優れた精度、再現性、到達し、スループットは、すべてのウェハサイズ、薄いまたは接合ウェーハ、および専門的なウェーハキャリアを処理するため、これらのロボットは最適です。