M800 300mm FOUPクリーナー

M800 全自動 300mm FOUP クリーナーは、最高の粒子洗浄および AMC 洗浄性能を兼ね備え、最高のスループットで湿度制御を提供します。真空汚染浄化室はクリーナーのスペースに統合され、ロボットによってロードされます。

データ シート

特徴

  • 高圧 DI ウォータスプレー噴出
  • 蓋とシェルの分離洗浄
  • リッドの乾燥洗浄機能
  • AMC 化合物除去用の真空汚染浄化
  • FOUP 検査ステーション
  • 1 時間あたり 20 FOUP のスループット
  • IR 乾燥テクノロジ
  • ロード ポートの N2/XCDA パージ
  • OHT インターフェイス
  • クラス 1 ミニ環境
  • SEMI 標準準拠 SECS/GEM インターフェイス