M600自動ポッドクリーナー

M600全自動遠心力クリーナーはFOUPやFOSB、RSP200を自動洗浄するための理想的なソリューションです。 手動モードでは、あらゆる種類のレチクルやウエハキャリアを洗浄できます。

特徴

  • FOUP または RSP200 の全自動洗浄
  • あらゆる種類のレチクル/ウエハ キャリアの半自動洗浄
  • 内部バッファ
  • IR 乾燥テクノロジ
  • 手動操作が可能
  • OHT インターフェイス
  • クラス 1 ミニ環境および ESD
  • SEMI 標準準拠 SECS/GEM インターフェイス