M450 450mm FOUP/MACクリーナー

M450 全自動 450mm FOUP/MAC クリーナーは最高の粒子洗浄および AMC 洗浄性能を兼ね備え、湿度制御を提供します。

特徴

  • 高圧 DI ウォータスプレー噴出
  • 蓋とシェルの分離洗浄
  • リッドの乾燥洗浄機能
  • AMC 化合物除去用の真空汚染浄化
  • FOUP 検査ステーション
  • IR 乾燥テクノロジ
  • ロード ポートの N2/XCDA パージ
  • OHT インターフェイス
  • クラス 1 ミニ環境
  • SEMI 標準準拠 SECS/GEM インターフェイス