M300半自動FOUP/ポッドクリーナー

M300半自動機はあらゆる種類のキャリア(SMIF、オープンカセット、FOUP、FOSB、RSPおよびクラムシェル)のためのユニバーサル遠心力クリーナーです。比類のない洗浄と乾燥を実現します。

特徴

  • レチクル/ウエハ キャリア - 洗浄システム
  • 最高の製品柔軟性
  • 優れた IR 乾燥システム
  • ハイ スループット
  • 上質の洗浄およびすすぎ
  • 最小の COO