M1000 EUV ポッド クリーナー

M1000全自動EUVポッドクリーナーは、EUVまたはRSP200の各部品の個別洗浄で最大のパフォーマンスを発揮します。

特徴

  • 高圧 DI ウォータスプレー噴出
  • 蓋とシェルの分離洗浄
  • AMC 化合物除去用の真空汚染浄化  
  • IR 乾燥テクノロジ
  • ロード ポートの N2/XCDA パージ
  • OHT インターフェイス
  • クラス 1 ミニ環境
  • SEMI 標準準拠 SECS/GEM インターフェイス