M2400 300mm ウエハ ストッカー

Brooks の M2400 は、最大 1,200 枚のウエハを保管可能な全自動の 300mm ウエハ ストッカーです。ウエハは、二次汚染を避けるため、コンパートメントで垂直に保存され、個別のゾーンで管理されます。M2400 は、個別の各ウエハへの迅速なアクセスを提供し、ソーターとして使用することができます。

特徴

  • 全自動ウエハ処理
  • クラス 0.1 ミニ環境/ESD/AMC
  • 再循環モードの N2/XCDA パージ
  • プラスチック成形コンパートメントの高密度 1/4 ピッチ ストレージ
  • ウエハ履歴管理用の OCR とのウエハ アラインメント
  • ウエハ ソーター機能
  • 自動ティーチング