M2200 300mm ウエハ ストッカー

Brooks の M2200 は、最大 2,300 枚のウエハを保管可能な全自動の 300mm ウエハ ストッカーです。ウエハは、二次汚染を避けるため、コンパートメントで垂直に保管され、個別の区画で管理されます。M2100 は、個別の各ウエハへの迅速なアクセスを提供し、ソーターとして使用することができます。

特徴

  • 全自動ウエハ処理
  • ISO クラス 2 ミニ環境
  • ESD および AMC 管理
  • 再循環モードの N2/XCDA パージ
  • カプセル化された温度および湿度管理環境
  • プラスチック成形コンパートメントの高密度 1/4 ピッチ ストレージ
  • ウエハ履歴管理用の OCR とのウエハ アラインメント
  • ロット準備の FOUP バッファ
  • ウエハ ソーター機能
  • 自動ティーチング