M2100 200mm ウエハ ストッカー

Brooks の M2100 は、最大 2,200 枚のウエハを保管可能な全自動の 200mm ウエハ ストッカーです。ウエハは、二次汚染を避けるため、コンパートメントで水平に保管され、区画で管理されます。M2100 は、個別の各ウエハへの迅速なアクセスを提供し、ソーターとして使用することができます。

特徴

  • 全自動ウエハ処理
  • クラス 1 ミニ環境/ESD/AMC
  • OCR とのウエハ アラインメント
  • ウエハ ソーター機能
  • 自動ティーチング