ZARIS™ レチクル自動化システム

Brooks の ZARIS レチクル自動化システムは、さまざまなタイプのシッピング カセットおよびステッパ カセットから受け取った 5 インチおよび 6 インチ レチクルのハンドリングを確実に自動化します。業界トップのレチクル ソーター、ブライト ライト マクロ検査、および窒素洗浄システムが、マスクの損傷、および手作業での検査プロセスで発生しがちなハンドリング ミスを防止します。適切な向きで欠陥のないレチクルを常に提供することによって、ZARIS はステッパの利用率を向上させ、リソグラフィのやり直しを減らし、業務効率と収益を改善します。

信頼性の高いオペレーションと使いやすさに定評のある ZARIS レチクル自動化システムは、生産ラインを加速させると同時に、レチクルとペリクルの損傷を最小限に抑えます。業界トップのレチクル ストッカーである Guardian レチクル ストッカーを含む Brooks リソグラフィ オートメーション システムを、ZARIS は補完します。

データ シート

特徴

  • レチクル ソーティング、ブライト ライト検査、および窒素洗浄
  • レチクルおよびペリクルの識別
  • 防静電材料の使用

オプション機能

  • レチクル ID および/またはペリクル ID の光学文字認識
  • パーティクルの自動検出
  • ペリクル取り付け
  • GEM/SECS リンク