M2090 レチクル チェンジャ/ストッカー

Brooks M2090 レチクル チェンジャ/ストッカーは、レチクル/マスクの交換、検査およびストッカー システムです。I/O ステーションにより、すべてのスキャナ/ステッパおよび出荷ボックス (キヤノン、ニコン、ASML、凸版印刷、HOYA、DMS ボックスなど) の間におけるレチクル/マスクの転送が可能になります。オプションのストレージ ラックは、ツールの裏側に配置できます。

特徴

  • 全自動レチクル/マスク処理
  • クラス 1 ミニ環境/ESD/AMC
  • レチクル ストレージ
  • レチクル方向
  • レチクル コード識別
  • ボックスの RF タグまたはバーコード識別
  • ブライト ライト ビジュアル検査
  • 組み込み計測ツール
  • N2 噴出