M1995 全自動ベア コンパートメント レチクル ストッカー

Brooks の M1995 は、最大 2,860 枚のレチクルを保管可能な全自動のコンパートメント ストッカーです。レチクルは、極めてクリーンな再循環パージ ミニ環境で、コンパートメントに水平に保管されます。また、レチクル ストレージ コンパートメントでは、洗浄ガス パージが行われます。個別の I/O ステーションは、あらゆるタイプのレチクル ボックスに対応します。

データ シート

特徴

  • 全自動レチクル/マスク処理
  • ヘイズ/クリスタルの増大を最小限に抑える再循環モードの N2/XCDA パージ
  • カプセル化された温度および湿度管理環境
  • クラス 1 ISO ミニ環境/ESD/AMC
  • コンパートメントへのパージ
  • 省スペース
  • OHT インターフェイス
  • N2 噴出
  • 組み込み計測ツール
  • 耐震コンパートメント ストレージ
  • バッファ モジュール