M1990 全自動ベア レチクル ストッカー

Brooks の M1990 は、最大 2,016 枚のレチクルを保管可能な全自動のベア ストッカーです。レチクルは、極めてクリーンな再循環パージ ミニ環境で、静電気防止サポートを受けて垂直に保管されます。個別の I/O ステーションは、あらゆるタイプのレチクル ボックスに対応します。

データ シート

特徴

  • 全自動レチクル/マスク処理
  • 再循環モードの N2/XCDA パージ
  • カプセル化された温度および湿度管理環境
  • クラス 1 ISO ミニ環境/ESD/AMC
  • 大容量 - 超省スペース
  • OHT インターフェイス
  • N2 噴出
  • 組み込み計測ツール
  • バッファ モジュール