M1500 半自動レチクル ボックス ストッカー

Brooks の半自動 M1500 は、ケースに最大 1,500 枚のレチクルを保管できます。レチクル ボックスは ID で識別され、データ ファイルはデータベースに記録されます。これにより、工場におけるレチクルのトレースが最適化されます。

特徴

  • 大容量 - 省スペース
  • 迅速なロード/アンロード
  • ユーザ フレンドリーな GUI