ビデオ: Razor 大気ロボットのダブル ピック対応 真空グリップ

Dual Yaw Razor 大気ウエハー ハンドリング ロボット。フリップ オプションおよび 10mm ピッチのオフセット真空グリップ エンド エフェクタを装備しており、FOUP より 一度に 2 枚のウエハーを取り出すことができます。