ビデオ: M2-ナノ真空搬送システム クラスタ ツール

M2-ナノ真空搬送システムは、生産性の高いクラスタ ツールの Brooks Marathon-2 ラインに最新バージョンシステムです。このビデオでは、M2-ナノ システムの真空バック エンド部分 (必要な EFEM がない状態) がわかります。映像では、高速ロード ロックと業界をリードする MagnaTran-7 真空ロボットを収納している極めてコンパクトなトランスファー チャンバが表示されています。支持フレームは最大 3 つのプロセス モジュールに対応できるようフル装備されており、さらに、CE 準拠のセイフティ ハブによる通信およびインターロック アーキテクチャを備えています。