ビデオ: 450mm Jet™ EFEM (Wafer Engine 搭載モデル)

Brooksは、WaferEngineと Certon Loadport を搭載したJet™ EFEMで 450mm搬送のご要望にお応え致します。将来の450mm稼働に備え 450mm対応製品を各種ラインナップしています。