ビデオ: 450mm Equipment Front End Module (EFEM)

表示される 450mm Equipment Front End Module (EFEM) ユニットは、1 台の 300mm ロード ポートと 2 台の 450mm ロード ポートで構成されており、両方のサイズのウエハーを処理できることが可能です。 ウエハーは、ロード ポート上に配置されている 450mm FOUP の中にあります。 ポッドのドアが開かれると、大気ロボットは 2 つのウエハーを取り出して、処理シーケンスを開始します。EFEM の内部の映像では、ウエハーがアライメントされ、その後、450mm 真空搬送システムの真空ロード ロックに配置されます。