ビデオ: WaferEngineロボット搭載、300mm Jet Common Platform (JCP)

  • Jet Common Platform (JCP) - SEMI 準拠の EFEM です
  • WaferEngine ロボット、Brooks Vision ロード ポート モジュール (シグナルタワー、非常停止、GUI オプション付き) を装備
  • 1組の 300mm FOUP をオープン、EFEM にドッキングされます
  • WaferEngineロボットは 上下2段のエンドエフェクターで2 枚のウエハを同時に搬送します
  • 下側のエンドエフェクタ上のウエハが アライナー(200/300mm対応)に搬送され、アライメントされます
  • アライメント後のウエハを ロボットが取り出し、上側のエンドエフェクタにあるウエハはアライナーに搬送、アライメントされます
  • 2枚目のウエハのアライメント中に、アライメントの完了したウエハは移動します
  • 1枚目のアライメント済みウェハは他方の FOUP へと移載されます
  • ウエハは 2 つの FOUP 間で搬送されます
  • 3枚目のウエハがFOUPから取り出され、アライナー上にある2枚目のアライメント済みウエハと入れ替えられます
  • 第二のウェハがロード位置まで延長して、元のFOUPに戻される。
  • すべてのウエハが元の位置に戻されます

green-arrow-liJet Common Platform の詳細