赤外線 Smart Tag 8200、8400 シリーズ

Brooks の Auto ID システムは、今日の自動化された半導体製造工場で使用されている主要な自動キャリア ID システムです。最新のディスプレイ、ロジック、通信技術を合わせ持ち、多機能電子作業伝票を提供しています。赤外線 Smart Tag 8200、8400 製品群は、Front Opening Unified Pod (FOUP)、SMIF-Pod、カセット、レチクル、オペレータ、およびプローブ カードを識別、管理します。

識別タグは、追跡する項目(200ミリメートルポッド、300ミリメートルFOUP、カセットなど)に取り付けられており、読者は、プロセス、計測および資材運搬機器に統合されています。に統合読者と SMIFロードポート 、ストッカ、および手動作業中(WIP)収納棚、紙ロット旅行者や実行カードの必要はありません。リーダーが自動的にツールに到着すると、多くのIDを通信します。

Smart Tag™ (赤外線 ID)

Smart Tag は、200 mm および 150 mm の SMIF ロード ポート、ストッカ I/O、および WIP ラック に組み込むことができます。 機器にロットが到着すると、Smart Tag は、自動的にロット ID を送信します。

SMART-Traveler System によって組み込まれたワイヤレス通信技術 (無線および赤外線) が、タグが最小限の電力消費で信頼性の高い通信を行うことを可能にします。

最大の生産性と収益性

  • ロット、レチクル、およびプローブ カードを自動的に識別することによって、加工時の失敗を防ぎ、機器の生産性を向上させます。
  • WIP およびレチクルの手動式および自動式のストレージを管理することで、ロットの所在の探索および機器への引き渡しをスピードアップします。
  • 一体型データ ディスプレイによって必要な時、必要な場所で、オペレータがロットや機器の具体的なデータにアクセスすることを可能になり、オペレータの生産性が向上します。
  • システム コストを削減し、システムの信頼性を高めます。
  • 自動化されていない製造工場と自動化された製造工場の両方で、さまざまな用途に使用することができる柔軟な Auto ID システムを提供します。
  • 世界中の 100 以上の製造工場で使用されています。
  • すべての該当する SEMI 規格に準拠しています。