Spartan™ ソーター

Spartan™ ソーターは、ウエハー統合管理システムにより、必要最小限の規模と複雑さで主要な作業である、できる限りクリーンかつ迅速なウエハーの移動を実行します。Spartan ソーターは信頼性の向上、最大限の効率性を実現するだけでなく、最小粒子 レベルでの業界をリードするクリーン度も実現します。

Spartan ソーターの主な特性は、セットアップおよび保守が容易なことです。このソーターのシンプルかつ拡張可能なアーキテクチャにより、保守と管理を簡単に行えます。SEMI 規格完全準拠の Spartan ソーターでは複数のオプションが利用可能で、さまざまなソート アプリケーションに対応できます。

最大の生産性と収益性

  • ISO クラス 1 の性能を上回る優れたクリーン度を実現する最適化されたミニエンバイロメントを備えています。
  • デュアル、超薄型エッジ グリップ ウエハー ハンドリングにより、最も要求の厳しい適用環境において交換時間の高速化を実現します。
  • 直線運動式ウエハー エンジンにより、よりシンプルで、信頼性が高く、容易なセットアップおよびトラブルシューティングを行うことができます。
  • 柔軟性のある、設定可能な設計と先進的なソフトウェアのサポートにより、サイクル タイムを短縮し、容易な統合、保守および管理を可能にします。

Spartan ソーターは、高い信頼性、保守性および管理容易性によって裏打ちされた業界をリードするパーティクル管理性能と、低所有コストを合わせて提供します。Spartan ソーターは、大量生産のアプリケーションで 1,200 台以上導入されており、ウエハー ハンドリング向けの実績のあるプラットフォームです。