VersaPort™ 2200 SMIF 対応ロード ポート

VersaPort 2200 は、ロード ポート オープナーを備える業界で最も先進的な 200mm SMIF (Standard Mechanical Interface) の I/O 処理ツールです。200mm から 300mm への移行用の「ブリッジ ツール」として設計されていますが、VersaPort 2200 では SMIF の I/O 処理にオープン カセットのソリューションも提供します。

プラットフォーム マウント式の VersaPort は、SMIF 汚染防止テクノロジーを容易に統合できるよう人間工学に基づいて設計されており、すべての 200mm SMIF-Pods™ をアンロードおよびロードできます。VersaPort は、業界で最も先進的な 200mm BOLTS 準拠のロード ポート オープナーでもあります。すべての 200mm SMIF-Pods を 300mm クラスのツールにアンロードおよびロードできます。

どちらの規格でも、レーザー ベースのカセット スロットまたはウエハー マッピング、ウエハーの交差挿入の検出、ウエハーの突出の感知、自動ウエハー再装着機能を含む高度な機能セットを利用できます。

最大の生産性と収益性

  • オープン カセットの I/O 処理では、手動開口式カセット アダプタ (MOCA) オプションを使用できます。
  • VersaPort の独自の「傾けて移動する方式」のキネマティック インターフェイスにより、1 人ですばやく設置し、簡単にアライメントできます。設置後のアライメントのやり直しは不要です。
  • SMIF の汚染防止テクノロジーで 209-E 連邦規格のクラス 1 を上回る性能を実現します。
  • 先進的なレーザー ベースのウエハー検出では、レーザー ベースのカセット スロットまたはウエハー マッピング、交差挿入の検出、ウエハーの突出感知、自動ウエハー再装着機能を含む高度な機能セットを採用しています。
  • IR ベースの反射式センサーで、ウエハーの過度の突出を感知し、再装着機能で対応できないウエハー検出を行います。また、このセンサーでは緊急停止機能と非常用ブレーキを採用しています。
  • 統合型のセルフテスト診断が組み込まれています。また、高度な診断ソフトウェアを利用して、簡単なデザイン インやトラブルシューティングを行うことができます。
  • プログラム設定できる水平カセット シャトル オプションにより、300mm 規格にウエハーをアライメントできます。また、中心線のポジショニング機能を備えており、ツール側のオートメーションに適応できます。
  • SEMI および CE 準拠で低所有コストを実現します。