SMIF ロード ポート トランスファー (LPT)

SMIF-LPT (ロード ポート トランスファー) は人間工学に基づいて設計された SMIF-I/O で、幅広い 200mm および 150mm ウエハー処理ツールおよび計測ツールに SMIF ポッド カセットのロードおよびアンロード機能を組み込みます。SMIF-LPT は、外部の水平方向のカセット トランスファー機構を必要とする真空ロード ロック ツール用の適応型の機器メーカー アプリケーション向けに設計されています。

SMIF-LPT は、多様なウエハー製造ツールに SMIF 機能を提供し、サイクル タイムの短縮や設置スペースの縮小において業界をリードしています。

適応型 SMIF-LPT ソリューション

Brooks 適応型 SMIF-LPT ソリューションは、200mm オープン カセットのプロセス、計測および検査ツール向けで、SMIF 以外のツールから SMIF へのコスト効率の良いアップグレードを行うことができます。そのため、180nm 未満のテクノロジー ノードで半導体製造用の既存の 200mm 設備の転換が可能になります。3 つの構成により、カセットの装着段階が困難な OEM (相手先商標製造会社) ツールに対応します。

  • SMIF-LPT Tr は、非垂直カセットの配置用に設計された回転ヘッドです。
  • SMIF-LPT Tx は水平方向のカセットの移動を可能にし、カセット間の狭いスペースに対応します。
  • SMIF-LPT Ty は、狭い部屋の開口部に対応するオフセット アームを装備しています。
  • これらの機能を既存の SMIF-LPT に組み込んだり、アップグレードすることもできます。
  • 優れたキネマティック インターフェイスで、迅速で正確、さらに信頼性の高い着脱 (機器メーカーとの統合用のヒンジとラッチ オプションが利用可能) を行うことができます。
  • ウエハー感知および再装着システムによりウエハーの破損を防止。
  • ウエハー搬送は粒子汚染からの最大限の保護を保証するクラス 1 ミニエンバイロメントより良好な環境で実施されます。
  • 迅速なロードおよびアンロード サイクル タイムで業界をリードしています。
  • 組み込み型 SMART Tag Auto ID により、ロット追跡とロット管理を実行できます。
  • LPT/LPI は、設置ベースで 12,000 台を上回ります。

最大の生産性と収益性

  • 優れたキネマティック インターフェイスで、迅速で正確、さらに信頼性の高い着脱 (機器メーカーとの統合用のヒンジとラッチ オプションが利用可能) を行うことができます。
  • ウエハー感知および再装着システムによりウエハーの破損を防止。
  • ウエハー搬送は粒子汚染からの最大限の保護を保証するクラス 1 ミニエンバイロメントより良好な環境で実施されます。
  • 迅速なロードおよびアンロード サイクル タイムで業界をリードしています。
  • 組み込み型 SMART Tag Auto ID により、ロット追跡とロット管理を実行できます。
  • LPT/LPI は、設置ベースで 12,000 台を上回ります。