SMIF-INX インデクサ

SMIF-INX 製品は、固定 Z 軸ウエハー ハンドラー用のウエハー インデックス機能または Z 軸ウエハー ハンドラー用の固定プランにカセット ポジショニング機能を提供するように設計されています。SMIF-INX は、設置ベースで 15,000 台を超えており、その多用途性、機能性、および信頼性は実証済みです。SMIF システムの汚染防止のメリットは高い評価を得ており、最新世代の INX 2200 EP によるダイの生産量の大幅な向上に貢献しています。インデクサは SEMI E15 および E19 仕様を満たし、CE 認定を得ています。

最大の生産性と収益性

  • 内部の PTFE-ULPA ろ過システムにより ISO クラス 3 環境を上回る良好な環境を維持します。
  • SMIF-INX は、プロセスツールに直接取り付けます。
  • 位置フィードバック方式の直流サーボ制御は、ツール サイクル タイムへの影響を最小限に抑えた高速ウエハー インデックス機能を提供し、±0.005 インチ (0.127 mm) のポジショニング精度を実現します。
  • 特許を取得したレーザー感知システムでは、ウエハーとスロットの正確な配置、ウエハー位置のマッピング、ウエハーの交差挿入の検出、およびウエハーの突出の感知および自動再装着機能を提供します。
  • クイック ディスコネクト アセンブリでメンテナンスが容易です。